판매용 중고 MARCH FlexTRAK #9210328

MARCH FlexTRAK은 웨이퍼 에칭 및 애싱 공정의 효율성을 극대화하기 위해 특별히 설계된 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템은 에치 (etch) 로딩 시간, 빠른 프로세스 스케줄링, 뛰어난 레시피 일관성을 제공하는 완전 자동화 솔루션입니다. 생산 및 연구 개발 응용 분야에 이상적입니다. 이 장치는 뛰어난 척 (chuck) 안정성과 레시피 반복성을 제공하는 고급 압력 제어 가변 전력 아키텍처를 기반으로합니다. 이렇게 하면 일관된 에치 (etch) 및 애쉬 프로파일 (ash profile) 이 보장되고 결과 생성 시간이 단축됩니다. 또한 시스템의 프로세스 스케줄링 자동화 (automated process scheduling) 기능을 통해 특정 애플리케이션에 적합한 etch 구성을 신속하게 생성할 수 있습니다. FlexTRAK 은 (는) 설치하기 쉽고 운영 교육을 최소화해야 하는 컴팩트한 설계를 자랑합니다. 이 공구는 2 개의 자동 로봇에 연결된 2 개의 챔버 (에치 챔버 및 애싱 챔버) 로 구성됩니다. 이러 한 "로봇 '들 은" 와퍼' 를 챔버 '사이 에 옮기고, "와퍼' 를" 에치 챔버 '에 적재 하고 적재 하는 역할 을 한다. MARCH FlexTRAK 에는 고급 프로세스 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 이 컨트롤러에는 직관적인 8.4 인치 컬러 터치스크린이 있어 쉽게 작동할 수 있습니다. 이 상자에는 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 공정을 정확하게 모니터링하는 고 처리량 광학 이미징 자산도 있습니다. FlexTRAK에는 에치 챔버에 최대 25 개의 웨이퍼를 적재 할 수있는 독특한 로딩 모델이 있습니다. 장비의 로드 록 (loadlock) 은 정확하고 반복 가능한 결과를 위해 자동으로 캐리어를 운반하고 관심 웨이퍼를 제자리에 고정시킵니다. MARCH FlexTRAK 는 다양한 메모리 및 레시피 설정 기능도 제공합니다. 따라서 모든 etch 및 ash 구성을 저장하여 액세스 및 반복 작업을 쉽게 수행할 수 있습니다. 이러한 설정은 쉽게 액세스할 수 있는 메모리 라이브러리 (memory library) 에 저장되므로 원하는 응용 프로그램의 정확한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 설정을 쉽게 생성할 수 있습니다. 결론적으로, FlexTRAK은 뛰어난 척 안정성과 뛰어난 레시피 일관성을 제공하는 고급 에칭 및 애싱 시스템입니다. 설치가 쉽고, 최소한의 교육이 필요하며, 한 번에 최대 25 개의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 또한 직관적인 터치스크린, 빠른 처리 (fast processing) 스케줄링, 자동 레시피 아카이빙 등 다양한 기능을 제공합니다.