판매용 중고 MARCH FlexTRAK #9101089

MARCH FlexTRAK는 정확성, 비용 효율성 및 효율성을 위해 설계된 다용도 RF asher/etcher 장비입니다. 가장 현대적인 에칭 (etching) 기술의 가장 좋은 측면과 사용자 친화적 (user-friendly) 플랫폼의 유연성을 결합한 것입니다. 이 시스템은 매우 다양하며, 고급 구성 프로세스를 처리할 수 있습니다. 이 필드는 3 개의 동심원 RF 링 (concentric RF ring) 으로 요약되어 있는데, 가스 환경을 효율적으로 조정 할 수있는 3 개의 층으로 분리하여 에치 프로세스가 매우 정확한 온도, 압력 및 흐름 조건에서 발생할 수 있습니다. 이 설계는 단일 레시피의 거의 100% 사용으로 복잡한 패턴을 달성 할 수 있습니다. 장치의 중심에는 견고하고 강력한 RF 모듈이 있으며, 400 킬로헤르츠에서 4 메가헤르츠 사이의 주파수에서 최대 500 와트를 제공 할 수 있습니다. 이것의 정확도는 유사한 모듈보다 2 순서의 정확도입니다. 높은 주파수는 더 빠른 에칭 시간과 더 높은 수율을 허용합니다. 또한 FlexTRAK 에는 사용자 및 시스템 간의 대화식 인터페이스를 제공하는 통합 프로그래밍 가능한 컨트롤러 (controller) 가 있습니다. 이를 통해 공정 가스, 온도, 압력, 챔버 도어 (chamber door) 작업 등 에치 프로세스를 완전히 제어 할 수 있습니다. 컨트롤러는 복잡한 레시피를 쉽게 구성하고 실행할 수 있도록 설계되었으며, 프로세스 매개변수를 디버그 (debug) 하고 수정할 수 있는 유연성을 갖추고 있습니다. 또한, 이 도구는 활성 냉각 (active cooling) 및 견고한 제어 에셋을 제공하여 전체 샘플에 대해 균일한 에치 깊이를 보장합니다. 이것은 모델을 고효율적으로 만들고 에치 깊이 (etch depth) 와 균일성 (unifority) 을 정확하게 제어합니다. 그 장비 는 습도 를 조절 하여, 유전체 가 공정 전체 에 걸쳐 일관성 을 유지 하도록 한다. 마지막으로, 시스템은 안전을 염두에두고 설계되었습니다. 에치 챔버 (etch chamber) 는 유해 물질을 장치에 도입 할 수 없도록 지속적인 압력을 가하며, 움직이는 모든 부품은 안전 차단 (safety off) 을 통해 사람의 오류로 인해 손상되지 않을 수 있습니다. 전반적으로 MARCH FlexTRAK는 정밀 에칭 프로젝트를위한 이상적인 RF asher/etcher 기계입니다. 최신 에칭 기술과 매우 정확한 컨트롤, 사용자 친화적 인 소프트웨어, 탁월한 안전 기능을 결합했습니다. 또한 다용도가 높으며 복잡한 프로세스를 쉽게 처리 할 수 있습니다.