판매용 중고 MARCH FlexTRAK-SH #9232254

MARCH FlexTRAK-SH는 마이크로파브릭션 실험실을 위해 설계된 에처/애셔 (etcher/asher) 이며, 사용자를 위해 광범위한 응용 프로그램이 있습니다. 이 장비는 자동화된 프로그래밍 가능한 레시피 제어 (Recipe control) 와 표준 회전 및 웨이퍼 궤적을 통해 높은 수준의 정확도를 제공합니다. 또한 MARCH 'Trak-Tool' 과 완전히 통합되었습니다. 이를 통해 프로그래밍 없이도 웨이퍼 처리 및 에칭 레시피 개발을 할 수 있습니다. 시스템은 또한 유지 보수가 적고 작동이 쉽습니다. FlexTRAK-SH는 RF 유도 결합 플라즈마의 두 소스를 포함하는 'Helios' 챔버 디자인을 특징으로합니다. 이것은 LPCVD, LPCVD OIS, OLED 및 ECR과 같은 PECVD 및 PE-CVD 프로세스의 에칭을 제공합니다. 이것 은 또한 "플라즈마 '의 아주 높은 밀도 와 균일 함 을, 심지어 작은" 웨이퍼' 크기 에서도 달성 할 수 있는 능력 을 제공 한다. '헬리오스 (Helios)' 챔버는 또한 종횡비가 큰 대형 웨이퍼의 균일 한 에칭을위한 z 비행 스캔 라인 옵션을 갖추고 있습니다. MARCH FlexTRAK-SH는 또한 다양한 에치 속도를 제공하며 산화물, 질화물, 폴리 실리콘, 금속 및 금속 합금을 포함한 재료를 에치 할 수 있습니다. 또한 최대 12 인치 직경의 웨이퍼를 에칭 할 수 있습니다. 이 장치에는 사용자 안전을 보장하고 화학 물질 누출을 방지하기 위해 봉투 (Envelope) 보안 시스템 부족 (Out of Envelope Security System) 이 장착되어 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 압력, 온도 및 O2 수준을 감지하는 다양한 프로세스 센서가 있으며, 이는 에치 프로세스의 정확한 제어를 제공합니다. FlexTRAK-SH (FlexTRAK-SH) 는 강력하고 다양한 기능의 툴로서, 작동하기 쉽고 광범위한 실험실 애플리케이션에 적합합니다. 사용자 지정 가능한 레시피 (Recipe) 및 소프트웨어 툴을 사용하여 안정적이고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있는 높은 수준의 정확성과 정확성을 제공합니다 (영문). 기계의 성능은 고급 '헬리오스 (Helios)' 챔버 디자인으로 더욱 향상되어 균일하고 균일 한 에치 레이트 생산을 보장합니다. 에처 (etcher )/애셔 (asher) 는 사용자의 안전을 보장하기 위해 다양한 안전 조치를 취합니다.