판매용 중고 MARCH FLEXTRAK-2MB #9259611

MARCH FLEXTRAK-2MB
제조사
MARCH
모델
FLEXTRAK-2MB
ID: 9259611
Plasma cleaners.
MARCH FLEXTRAK-2MB는 다양한 어플리케이션에 적합한 독특하고 다재다능한 etcher/asher입니다. 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 를 포함한 다양한 재료에서 정확한 에칭 및 애싱 (ashing) 을 허용하는 여러 기능이 있습니다. MARCH FLEXTRAK 2MB etcher/asher에는 장비 구성을 단순화하는 사용하기 쉬운 11 인치 터치 스크린 컨트롤 패널이 제공됩니다. 알칼리성 에칭 솔루션 (alkaline etching solution) 이 장착되어 있어 뛰어난 표면 평면 및 균일성을 만들 수 있습니다. 또한, 이 시스템에는 이동식 하부 랙이 있어 웨이퍼를 로드하고 언로드하는 것이 훨씬 간단합니다. FLEXTRAK-2MB는 또한 2 모드 작동 장치로 인해 뛰어난 반복성과 재생성을 제공합니다. 수동 (manual) 모드가 있으며, 제어판 설정을 사용하여 특정 에치 사이클 (etch cycle) 을 반복하고, 자동 모드 (이전 에치 사이클의 컨트롤러 설정) 를 사용하여 일련의 에치를 반복합니다. 이 기계는 온도 조절도 있으며, 이는 보다 정확한 에치를 만드는 데 이상적입니다. 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 과정은 사용자가 웨이퍼를 면밀히 조사하고 오류를 식별하는 데 도움이 되는 줌 스테레오 현미경의 도움을 받습니다. FLEXTRAK 2MB는 실시간 데이터 로깅 및 분석을 위해 PC 또는 PDA에 연결할 수도 있습니다. 이렇게 하면 애플리케이션별 요구 사항을 충족하기 위해 에치 (etch) 단계를 모니터링 및 기록할 수 있습니다. MARCH FLEXTRAK-2MB 에처/애셔 (etcher/asher) 는 빠른 냉각 주기를 포함하며, 이는 강제 공기 흐름에서 웨이퍼를 빠르게 냉각시켜 에치 공정을 단축시켜 에치 시간을 크게 줄입니다. 300mm/min 스캔 속도와 0.16 ~ 5mm 에치 깊이에서 작동 할 수 있습니다. 또한 다양한 공정 레시피로 맞춤 구성할 수 있으며 가스 제어, 펌프 및 스크러버 시스템이 제공됩니다. MARCH FLEXTRAK 2MB (March FLEXTRAK 2MB) 는 신뢰할 수 있고 강력한 Etcher/Asher로 다양한 재료에 정확하고 상세한 에치를 만들 수 있습니다. 이 제품은 빠르고, 효율적이며, 다양한 기능이 제공되므로 고급 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 이 필요한 어플리케이션에 적합합니다.
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