판매용 중고 MARCH Fiex Trak #9148640

MARCH Fiex Trak은 반도체 장치 및 포장 제작의 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계된 고급 수준의 에칭 및 애싱 (ashing) 장비입니다. 혁신적인 멀티 스테이지 에칭 시스템을 갖춘 Fiex Trak은 다양한 웨이퍼 크기, 재료 및 프로세스에 대한 다양한 에칭 프로세스를 제공합니다. MARCH Fiex Trak은 600W의 ICP (inductively coupled plasma) 전력을 사용하여 다양한 공정 가스 구성으로 균일 한 에칭을 제공합니다. 대용량 RIE 에치는 실리콘, SiO2, 석영 등을 포함한 거의 모든 기판 재료를 효과적으로 처리합니다. Fiex Trak의 고급 장치 (advanced unit) 소프트웨어는 모든 etch 매개변수를 제어하여 지정된 웨이퍼 크기에서 최적의 프로세스 균일성을 보장합니다. 또한 MARCH Fiex Trak에는 고급 Asher 기능이 포함되어 있으며 웨이퍼 레벨 패키징, 플립 칩 어셈블리 및 무연 솔더링에 사용할 수있는 대용량 플라즈마 재 프로세스가 가능합니다. Fiex Trak은 통합 애셔 관리 머신 (asher management machine) 을 사용하여 일관된 균일하고 반복 가능한 프로세스 제어로 재 프로세스를 정확하게 수행합니다. MARCH Fiex Trak은 광범위한 반도체 제작 프로세스에 대한 고성능 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 고급 도구 소프트웨어, 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스, 고급 플라즈마 에치 (plasma etch) 및 애쉬 (ash) 프로세스를 갖춘 Fiex Trak은 운영 효율성을 극대화하면서 최고의 수준의 프로세스 성능을 제공하고자 하는 사람들에게 완벽한 선택입니다. 첨단 기술은 빠르고 안정적인 프로세스를 보장하여 매번 고수율 (High-Yield) 웨이퍼를 일관되게 만듭니다.