판매용 중고 MARCH AP 1000 #9409427

MARCH AP 1000 Asher는 2 개의 독립 가스 패널과 4 개의 온도 구역이 장착 된 플랫폼을 갖춘 자동 웨이퍼 에처/애셔입니다. 사용자 정의 매개변수에 따라 최대 6 인치 크기의 웨이퍼를 처리하는 데 사용됩니다. 장비의 가스 패널은 최대 20 개의 다른 가스로 작동 할 수 있으며, 각 가스는 독립적으로 제어 된 시청 창을 사용합니다. 이를 통해 에칭 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 3 월 AP1000 은 최첨단 스캔 기능으로 설계되었으며, 고급 비전 시스템 (Advanced Vision System) 을 장착하여 에칭 프로세스 중 정확성을 보장합니다. 이 장치 는 초점 을 맞추는 전자 빔 을 사용 하는데, 이 빔 은 광학 영상 기계 와 동기화 하여 "에치 '할 물질 을 정확 히 표적 으로 만들 수 있다. 통합 웨이퍼 동작 도구 (Integrated Wafer Motion Tool) 는 웨퍼가 에칭 프로세스를 균등하게 분산시키기 위해 Etcher 내에서 이동하도록 하여 속도와 정확도를 보장합니다. 4 개의 온도 영역을 사용하면 etcher가 열 프로세스를 더 잘 제어할 수 있으며, 각 독립 존 (zone) 은 0 ° C ~ 400 ° C 범위의 열을 가열하고 냉각 할 수 있습니다. 이를 통해 AP-1000은 다른 웨이퍼에 다른 온도를 적용할 수 있습니다. 또한 AP1000에는 깨끗한 작업 환경을 제공하기 위한 자동 홍수/제거 자산도 포함되어 있습니다. 3 월 AP-1000은 자동화되고 정확한 에칭 작업을위한 필수 도구입니다. 이 모델은 조절 가능한 가스 압력 및 온도, 독립 존 (Zone) 온도 제어, 효율적인 스캐닝 및 이미징 기능과 같은 장점과 기능을 제공합니다. 이 장비를 통해 사용자는 에칭 (etching) 프로세스를 철저하고 효율적으로 제어할 수 있으며, 미리 정해진 패턴으로 웨이퍼를 생산할 때 정확하고 반복적으로 사용할 수 있습니다.