판매용 중고 MARCH AP 1000 #9311918

MARCH AP 1000은 MARCH Instruments에서 만든 asher 또는 etcher입니다. 기판, 일반적으로 그룹 III 및 그룹 IV 반도체를 세분화하도록 설계된 독립형 벤치 상단 장비이며, 정밀도와 정확도가 높습니다. 단일 피스 쿼츠 챔버와 PLC (Programmable Logic Controlled) 가 장착되어 있어 온도, 압력, 유속 등의 측면을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 제어 시스템은 사용자 정의가 가능하고 프로그래밍 가능하여 복잡한 에칭 프로세스를 지원합니다. 이 장치는 전자 빔 소스 (electron beam source) 를 사용하여 높은 정도의 프로세스 제어를 가능하게하며 다양한 전문 에치 (etch) 프로세스에 사용할 수 있습니다. 3 월 AP1000은 1 ~ 6 인치 두께의 기판에 걸쳐 광범위한 기판을 처리 할 수 있으며 반도체 산업에서 DRIE (deep reactive ion etching), 이온 밀링, 플라즈마 에칭 등 다양한 유형의 에치 공정에 널리 사용됩니다. 전자 광학 제품. AP-1000 은 안정적이고 반복 가능한 에치 (etch) 프로세스를 제공하도록 설계되어 반도체 생산 과정에서 널리 사용되는 제품입니다. 3 월 AP-1000에는 Argon, Oxygen, Xenon 및 Nitrogen을 포함한 다양한 공정 가스가 장착 될 수 있습니다. 질량 흐름 컨트롤러 (옵션) 를 사용하여 흐름 속도와 압력을 모니터링하고 조정할 수도 있습니다. 또한, 프로세스에 따라 다양한 저수지 옵션을 사용할 수 있습니다. 자동 카세트-카세트 기판 처리 장치 (cassette-to-cassette substrate handling machine) 와 특허를받은 자동 플러싱 도구를 통해 AP 1000은 반도체 업계에서 신뢰할 수있는 작업마로 입증되었습니다.