판매용 중고 MARCH AP 1000 #9267760

MARCH AP 1000은 반도체 벤치 처리를 위해 설계된 에처/애셔입니다. 이 제품은 소규모 프로젝트를 위한 신뢰할 수 있는 저비용 (LC) 솔루션으로, 단일 사용자가 재료를 빠르고 정확하게 패턴화, 제거 (정밀도) 할 수 있습니다. MARCH AP1000은 RF 생성기와 기계 드라이브 시스템을 사용하여 플라즈마 또는 IIR 클린 챔버 (clean chamber) 의 장착 플래튼에 에칭 할 부품을 전송하는 벤치탑 에처/애셔입니다. 통합 프로세스 모니터와 결합된 음극 아크 이온 소스 (cathodic arc ion source) 는 최고 1000MHz의 속도로 효과적인 에칭 솔루션을 제공합니다. 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스는 사용이 간편한 제어판을 통해 제어되며, 이를 통해 빠른 설정과 매개변수를 변경할 수 있습니다. 통합 가스 매니 폴드 설정을 통해 SF6 및 CF4와 같은 다양한 가스를 처리 할 수 있으며, 4 사분면 셔터 시스템을 사용하면 최대 5 개의 부품을 동시에 처리 할 수 있습니다. 이를 통해 에칭 프로세스의 속도가 더욱 향상됩니다. AP-1000에는 샘플 사전 치료 적응 옵션, 냉각 송풍기, 프로세스 모니터링, 결함 제거, 유지 보수 용이 등 다양한 고급 기능이 포함되어 있습니다. 이 장치에는 전원 모니터 (power monitor) 가 포함되어 있으며, 압력 및 온도 조절 시 정확성과 전압 모니터링을 제공합니다. 또한 500mm (20 인치) 개구부를 사용하면 샘플을 쉽게 액세스할 수 있으며, 최소한의 중단으로 처리할 수 있습니다. 전반적으로 MARCH AP-1000은 다양한 반도체 프로세스에 이상적인 에처/애셔입니다. 이 제품은 소규모 프로젝트를 위한 신뢰할 수 있는 저비용 (LC) 솔루션으로, 단일 사용자가 재료를 빠르고 정확하게 패턴화, 제거 (정밀도) 할 수 있습니다. 이 시스템은 사용하기 쉽고, 자동화된 기능을 통해 빠르고, 효율적으로 생산할 수 있습니다.