판매용 중고 MARCH AP 1000 #9243188

MARCH AP 1000은 프로세스 일관성을 통해 정확하고 균일 한 에칭 및 애싱 (ashing) 결과를 제공하도록 특별히 설계된 에처/애셔입니다. 소형 기판 (예: 웨이퍼, 필터 및 세라믹 부품) 을 처리하도록 최적화되었습니다. 이 모델에는 배치 또는 단일 웨이퍼 처리를 위해 고출력 단일 스테이션 (single station) 이 장착되어 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 고급 프로세스 관리 시스템으로 설계되어 즉석에서 사용자 정의 프로세스 레시피를 저장하고 적용할 수 있습니다. 또한 이미지 인식 기술 (Image Recognition Technology) 과 데이터 분석 (Data Analysis) 기능을 통해 일관된 결과와 반복 가능한 표면 품질을 보장할 수 있습니다. 또한, 3 월 AP1000 에 내장된 기능은 직관적인 사용자 인터페이스를 제공하여 시스템 작동을 단순화합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 안전하고 에너지 효율적으로 설계된 새로운 ICP 독성 플라즈마 소스를 특징으로합니다. 이 "플라즈마 '원 은 독성" 가스' 의 필요성 을 제거 하여, 청정실 응용 에 적합 하다. ICP 플라즈마 소스 기술은 또한 더 높은 공정 반복 성과 더 적은 기판 결함으로 균일 한 에칭 및 애싱 결과를 보장합니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 고성능 및 뛰어난 기능 외에도 질소 흐름, 압력, 온도 모니터링 시스템, 고급 진단 기능을 통합하여 향상된 안전 기능을 제공합니다. 따라서 사용자가 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스 동안 위험을 최소화할 수 있습니다. AP-1000 은 설치와 설정이 용이하며, 특정 요구 사항에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있는 다양한 옵션을 제공합니다. 또한 에칭 챔버, 기판 홀더, 로봇 암 (robot arm) 과 같은 다른 고급 제품과도 호환되도록 설계되었습니다. 이를 통해 사용자는 프로세스 효율성과 처리량을 극대화할 수 있습니다. 전반적으로, AP 1000은 프로세스 일관성을 통해 정확하고 균일 한 에칭 및 애싱 결과를 제공하기 위해 특별히 설계된 강력하고 직관적인 etcher/asher입니다. 즉, 고객이 소규모의 기판 프로세스를 손쉽고 효율적으로 최적화하는 데 필요한 툴과 기능을 제공합니다 (영문).