판매용 중고 MARCH AP 1000 #9172903

MARCH AP 1000은 전문 반도체 제조 시장을 위해 설계된 고품질 에칭이자 애셔입니다. 완벽하게 자동화되고 프로그래밍 가능한 플랫폼으로, 다양한 고급 (Advanced) 기능을 갖추고 있어 일관성 있고 고품질 (High-Quality) 프로세싱을 보장합니다. 에처에는 고급 증기 상 에치 기법이 장착되어 있어 고품질 에치 레이트가 제공됩니다. 이 플랫폼에는 자동 튜너 (auto tuner), 안전 장비 및 특허 가스 흐름 모니터링 기술이 장착되어 있습니다. 시스템의 주요 기능은 웨이퍼를 에칭하고 재싱하는 것입니다. 웨이퍼는 가공 챔버 (processing chamber) 에 배치되고 광선 방전 플라즈마 (glow discharge plasma), 저압 산소 (low-pressure oxygen) 및 기타 가공 가스의 조합에 노출되어 기판 표면에서 원하는 에칭 된 패턴을 달성한다. 또한, 기계 는 원치 않는 입자 로부터 기계 를 보호 하기 위한 입자 격리 장치 를 갖추고 있다. 에처에는 고급 RF 생성기가 있어 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 발전기는 주파수 범위가 1MHz ~ 120MHz 인 반복 가능한 고주파 신호를 생성 할 수 있습니다. 또한 전압 범위 (5V ~ 1000V) 를 특징으로하며, 에칭되는 특정 재료에 대해 적절한 작업 수준을 달성하기 위해 일정한 출력 (constant output) 으로 설정하거나 위로 또는 아래로 램프 (ramped) 할 수 있습니다. 3 월 AP1000 의 안전 도구는 특히 유해 프로세스가 있는 애플리케이션에 중요한 기능입니다. 무단 액세스를 방지하는 연동 자산 (Interlock Asset) 과 안전하지 않은 조건을 감지하면 전체 프로세스를 자동으로 종료하는 E-Stop (E-Stop) 이 특징입니다. 특정 프로세스가 완료되면 장비 운영자에게 경고하는 상태 모니터링 (Status Monitoring) 모델도 있습니다. AP-1000 (AP-1000) 은 다양한 반도체 장치 및 부품을 생산하는 데 적합한 신뢰할 수있는 에처 및 애셔입니다. 사용자 친화적 인터페이스와 여러 수준의 자동화 (automation) 기능을 통해 대규모 배치 (batch) 운영 시설에 사용할 수 있습니다. 또한 연구 개발 (Research and Development) 에 사용될 수 있는데, 이는 구성 능력이 뛰어나고 새로운 애플리케이션과 까다로운 애플리케이션에 쉽게 적응할 수 있기 때문입니다. AP1000 은 모든 반도체 구성 환경에 적합한 강력하고, 다용도, 신뢰할 수 있는 장치입니다.