판매용 중고 MARCH AP 1000 #9114384

MARCH AP 1000은 스퍼터링 및 에칭과 같은 광범위한 플라즈마 기반 프로세스에 이상적인 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템은 실리콘 및 화합물 반도체, 유리, 금속, 도자기, 유기 재료 등 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. 이 장치에는 고급 전원 공급 장치 (Advanced Power Supply) 가 장착되어 있으며, DC 및 펄스 전원 작동과 다중 포켓 비 자기 공정 챔버 (Multi-pocket non-magnetic Process Chamber) 를 모두 제공하여 여러 프로세스가 동시에 실행됩니다. 3 월 AP1000은 또한 온도 조절 환경을 갖추고 있으며, 프로세스 챔버 전체에서 정확한 온도 조절 및 균일성을 제공합니다. AP-1000 설계는 고급 공정 챔버를 제공하여 최고의 균일성과 성능을 보장합니다. 최대 8 개의 프로세스 매개변수를 설정할 수 있는 80rpm 회전 속도 (rpm rate rate) 를 통해 스퍼터링, 에칭 또는 2 개의 조합과 같은 다양한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 기계는 또한 최대 3.5CFM의 가스 흐름을 생성 할 수 있으며, 최대 8 "직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한, 잠재적 인 문제의 경우 운영자에게 경고하기위한 진공 게이지, 경보 도구, 안전 자산 (Safety Asset) 이 장착되어 있습니다. AP 1000에는 다양한 고급 제어 및 모니터링 기능도 포함되어 있습니다. 예를 들어, 모델에는 APC (Auto Process Control) 장비가 포함되어 있어 사용자가 작업을 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. 추가 프로세스 제어 및 모니터링을 위해, 시스템은 또한 가스 흐름, 내부 진공 제어 장치, 수동 압력 제어 (manual pressure control) 및 과부하 보호를 제어하는 흐름 및 압력 게이지가 있습니다. AP1000은 에칭, 스퍼터링 등과 같은 프로세스에 이상적인 기계입니다. "실리콘 ', 유리, 금속 및 유기 물질 을 포함 하여 매우 다양 한 기판 을 처리 할 수 있다. 또한, 이 도구에는 다수의 안전 및 제어 (Safety and Control) 기능이 장착되어 있어 운영자가 가장 높은 수준의 안전 및 프로세스 제어를 보장합니다. 마지막으로, 다용도 설계 및 고급 제어/모니터링 기능을 통해 사용자는 Plasma 기반 프로세스를 위한 최적의 솔루션을 제공합니다.