판매용 중고 LOTUS SYSTEMS Sapphire #9216259

LOTUS SYSTEMS Sapphire는 다양한 반도체 애플리케이션을 위해 설계된 최첨단 etcher/asher 장비입니다. 오늘날의 고급 디바이스 구성 라인 (fabrication line) 의 요구를 충족시켜 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 정밀 에처는 독특한 가스상 화학 전달 시스템을 사용하여 다양한 종류의 금속을 치료합니다. 혁신적인 디자인으로 다양한 마이크로 스케일 패턴 (micro-scale pattern) 과 기능을 최대 정확도와 반복 가능하게 만들 수 있습니다. 이 단위는 사용자의 응용 프로그램에 따라 등방성 (Isotropic) 및 이방성 (Anisotropic) 에칭과 복잡한 공간 패턴을 모두 사용할 수 있습니다. 이 에처는 일관된 결과를 보장하기 위해 포괄적 인 제어 기계를 갖추고 있습니다. 여기에는 화학 가스의 정확한 전달을위한 가스 압력 컨트롤러, 정밀한 가스 흐름 제어를위한 가스 흐름 모니터링 도구 (gas flow monitoring tool) 및 에치 프로세스를 시각적으로 모니터링하기위한 쿼츠 창 (quartz window) 이 포함됩니다. 또한 Sapphire에는 레시피와 고급 진단을 사용자 정의 할 수있는 고급 HMI (Human Machine Interface) 장치가 있습니다. LOTUS SYSTEMS Sapphire는 연구 실험실과 생산 라인에서 유연하게 사용할 수 있도록 설계되었습니다. CE, REACH, RoHS 인증을 비롯하여 간편한 설치 및 유지 관리를 위한 모듈식 설계를 갖추고 있습니다. 또한 증착 시스템 (deposition system), 진공 시스템 (vacuum system) 과 같은 다른 시스템과 완벽하게 통합되도록 설계되었으며, 최대 99.99% 의 에칭 정확도의 최적의 성능을 보장하도록 테스트되었습니다. 또한, 사파이어 (Sapphire) 는 세계적 수준의 안전 시스템을 지원하며 최고 품질 표준을 준수합니다. 안전 기능에는 누출 감도, 화재 방지 장치, 상세한 안전 설명서를위한 업그레이드 된 double seal 자산이 포함됩니다. LOTUS SYSTEMS 사파이어 (Sapphire) 는 또한 부식 내성 재료를 장착하여 산업 및 연구 응용 분야에 대한 긴 수명을 보장합니다. 사파이어 (Sapphire) 는 모든 에칭 요구에 적합한 고급 에처/애셔입니다. 리서치 프로젝트 (research project) 나 프로덕션 라인 (production line) 에 사용되든 간에, 적용에 관계없이 매우 정확하고 반복 가능하며 안전한 에칭 결과를 제공합니다.