판매용 중고 LFE APE-110 #293631690

LFE APE-110은 최대 처리 온도 1100 ° C의 다양한 기판을 에치/애쉬 할 수 있도록 설계된 동적 에처/애셔입니다. 사용자 친화적 인 인터페이스를 제공하며, 직경이 최대 6 "인 벌크 재료 또는 웨이퍼와 호환됩니다. APE-110 은 11 개의 zone load-lock 시스템을 통해 프로세싱을 위해 기판을 빠르고 효율적으로 로드하고 언로드할 수 있으며, 정밀한 온도 제어를 위한 챔버 온도 모니터링 시스템 (chamber temperature monitoring system) 을 제공합니다. 0.5äm의 해상도를 가진 고정밀 석영 z 스테이지는 고해상도 에칭 및 애싱 (ashing) 을 제공합니다. 달성 가능한 공정 결과에는 서브 미크론 실리카 에칭 및 비슷한 산화물 에칭, 고품질 실리콘 에칭 및 애싱 (ashing) 이 포함됩니다. LFE APE-110의 독점적 인 3D 물리 에치 (etch) 기능을 사용하면 테치 기판에서 잔류 불가 3 차원 기능 (예: 트렌치 및 패턴) 을 가져올 수 있습니다. 또한, APE-110에는 유전체 및 스테인리스 스틸 챔버가 있으며, 이는 에칭/애싱 중에 달리 발생할 수있는 불순물 오염을 최소화합니다. LFE APE-110 은 강력한 프로그래밍 인터페이스로 구동되며, 사용자는 프로세스 매개 변수를 "다이얼 인 (dial in)" 하고 복잡한 레시피를 만들어 반복 가능하고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. APE-110에는 또한 통합 된 RF 소스가 있으며, 이는 더 선택적인 에치/애쉬 작업을 위해 대체 전력을 제공합니다. 전반적으로, LFE APE-110은 직관적인 사용자 인터페이스와 강력한 프로세스 제어 도구와 함께 다양한 기판의 고품질 에칭 및 애싱 (ashing) 을 제공합니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 를 사용하면 서브 미크론 정밀도를 달성할 수 있으며 고품질 에칭 및 애싱 결과를 빠르고 정확하게 만들 수 있습니다.