판매용 중고 LFE 501 #83003

LFE 501은 가장 정확하고 상세한 에칭 및 애싱 프로세스를 수행 할 수있는 초정밀 에처/애셔입니다. 반도체· 생물학· 나노기술 분야에 적용이 필요한 완벽한 기계다. 501은 최소 20 ½ m 해상도의 표면에 미세하고 복잡한 패턴을 생성 할 수있는 고사양 광학 시스템 (high-specification optical system) 으로 구성됩니다. 매우 매끄러운 동작 제어를 사용하면 긴 프로세스 중에도 최대 정밀도를 보장합니다. 통합 가스실은 공정 오염을 줄이고 내장 스크러버는 대기 오염을 줄이는 데 도움이됩니다. 측면 속도 제어 시스템을 통해 LFE 501 은 항상 빠르고 정확한 움직임을 유지하므로 완벽한 결과를 얻을 수 있습니다. 챔버 설계는 박막 (Thin-film membrane) 및 MEMS (MEMS) 와 같은 얇은 재료를 처리 할 수있는 높은 처리량을 보장합니다. 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스는 패턴화 및 어싱 (ashing) 과 같은 다단계 응용 프로그램을 위해 하나의 단위로 결합 될 수 있습니다. 501 (501) 은 다른 물체를 수용하도록 조정 할 수있는 3 차원 진동 이송 메커니즘을 특징으로하며, 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 고정밀 선형 모터로 인해 정확한 위치 지정 및 제어 이동이 가능합니다. 프로세서 장치에는 LFE 501 전용으로 설계된 임베디드 소프트웨어가 내장된 고속 마이크로프로세서가 장착되어 있어 사용자 정의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로토콜을 사용할 수 있습니다. 이 시스템에는 터치스크린 디스플레이도 포함되어 있어 장치와 편리하게 상호 작용할 수 있습니다. 501은 인상적인 성능을 가진 강력하고 다재다능한 etcher/asher입니다. 컴팩트한 디자인과 유연한 프로그래밍 (Flexible Programming) 을 통해 높은 정확도와 최고 속도가 필요한 어플리케이션에 적합합니다. 이 제품은 다양한 산업/연구 분야에서 사용할 수 있으며, 다목적 툴입니다.