판매용 중고 LFE 115 #9186239

LFE 115
제조사
LFE
모델
115
ID: 9186239
Plasma planar / rie etcher 10" x 20" deep quartz barrel 1 MFC gas control ADVANCED ENERGY RFX 600 solid state RF generator Fomblin prepped direct drive vacuum pump Fomblin oil not included.
LFE 115는 PCB (Printed Circuit Board) 제조 산업의 어플리케이션을 위해 특별히 설계된 고성능 Etcher/Asher입니다. 구리 트랙과 비아 (vias) 를 최소한의 시간과 노력으로 식각할 수있는 고효율 에칭 (etching) 프로세스를 활용합니다. 이 장비에는 공랭식 플라즈마 저장/에칭 챔버 (plasma storage/etching chamber) 가 장착되어 있으며, 수동으로 또는 로봇 암으로 보드를 적재/언로드할 수 있습니다. 에치 매개변수 (etch parameters) 의 정확한 제어 메커니즘이 특징이며, 가장 짧은 에칭 시간에서 깨끗하고 정확한 에치를 보장합니다. 이 "시스템 '은 조종 된 대기압 의 진공 환경 에서 작동 하여, 산화 및 기타 반응 의 양 을 최소화 하는 정밀 한" 에칭' 과정 을 만들어 낸다. 115 년에 사용 된 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 기술은 구리 보드의 양면을 동시에 에칭하여 처리 시간을 줄이고 생산 수율을 증가시킵니다. 다중 레이어 보드의 구멍을 통해 제거하는 데도 장치를 사용할 수 있습니다. LFE 115 (LFE 115) 를 사용하면 생산되는 보드 유형을 설명하기 위해 작업 매개변수를 사용자정의할 수 있습니다. 이 기계는 질산, 염산, 황산, 과산화수소, 염화 철 등 에칭 속도, 온도 및 선택적 에치 종의 농도를 조정 할 수있는 고급 프로그래밍 제품군으로 설계되었습니다. 또한, 이 도구는 템플릿이 지정된 사용자 인터페이스가 있는 내부 컴퓨터 제어판 (CC) 을 통해 운영 매개변수를 손쉽게 조정하고 진행 상황을 모니터링할 수 있습니다. 최대 처리 속도 (115) 는 시간당 120 보드이며 각 보드에는 최대 4 개의 레이어와 최대 0.3mm 에치 깊이가 포함될 수 있습니다. 자산은 신뢰성이 높으며, 최소한의 유지 보수가 필요하며, 한 번에 최대 200 개의 에칭 레시피를 처리 할 수 있습니다. 또한 이 모델은 안전 장치 (Safety Mechanism) 로 설계되어 오류 발생 시 빈 에칭 (etching) 을 감지하고 장비를 자동으로 종료합니다. 이렇게 하면 시스템이 효율성과 성능의 안전한 매개변수 내에서 작동하도록 할 수 있습니다.
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