판매용 중고 LAM RESEARCH Versys Kiyo #9223498

LAM RESEARCH Versys Kiyo는 뛰어난 절단 정확도를 제공하는 에처/애셔입니다. 뛰어난 생산성과 안정적인 내구성을 지닌 고성능 에처/애셔 (etcher/asher) 로, 일반적으로 반도체 업계에서 사용됩니다. 버시스 키요 (Versys Kiyo) 는 고유의 이중 디스크 유형 기술을 사용하여 정확하고 정확하게 다양한 재료를 효과적으로 에치하고 흡수 할 수 있습니다. LAM RESEARCH Versys Kiyo는 2 개의 전극 사이에 비대칭 호가 형성되어 이온의 집중된 빔을 생성하는 3 구역 이온 소스를 특징으로합니다. 이 집중된 빔은 작은 기능의 정확한 에칭 및 재싱을 허용합니다. Versys Kiyo는 또한 플루오로 카본, 산소, 염소, 질소 및 SF6과 같은 에치 및 재싱을위한 광범위한 가스를 포함합니다. 고압 가스원 (High-pressure gas Source) 은 각 가스가 기질에 도달하기 전에 최적의 압력에 도달하여 물질의 균일 한 에칭 및 재 (ashing) 를 초래한다. LAM RESEARCH Versys Kiyo는 높은 정확도, 뛰어난 생산성 및 안정적인 내구성을 결합합니다. "에칭 '과" 애싱' 과정 은 매우 정확 하고 "가스 '의 흐름 을 조절 하여 작은 특징 내 에서도 일관된 결과 를 보장 한다. Versys Kiyo는 배치 또는 인라인 프로세스와 멀티 챔버 작업을 지원하여 생산 효율성을 극대화합니다. 직관적인 소프트웨어와 사용자 친화적 인 운영을 통해 LAM RESEARCH Versys Kiyo는 운영자가 쉽게 사용할 수 있습니다. 또한 Versys Kiyo에는 과열 및 과전류 보호, 자동 시스템 차단, 추가 안전을위한 잠금 키 (lockout key) 와 같은 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. LAM RESEARCH Versys Kiyo는 물질의 일관된 에칭 및 재시를 보장하기 위해 높은 수준의 반복 성과 균일성을 제공합니다. 베르시스 키요 (Versys Kiyo) 는 광범위한 유전체, 폴리머 및 반도체에서 에칭과 재싱에 대한 훌륭한 선택입니다.