판매용 중고 LAM RESEARCH Vector #9167402
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판매
ID: 9167402
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
CVD System, 12"
Software OS: Window
Equipment status: In-line
Type: Non-SMIF
Automation online component: SECE
Wafer type: Notch at 6 o'clock
Main computer type: Others
Version: B 5.2_106
Software:
Y2K Completion: Yes
Process chamber:
Max pro-press: Gas flow- 100 torrs
Standby Temp: Online temp
Set point: Process dependent
Trigger value: 10
Process: Pesion
Transfer robot: Servo motor
Wafer mapping sensor: Each wafer detection
I/O Port stage: OHT
Scheduler controller: Flex 3
Computer: Pentium4 2.0GHz,HDD 80GB RAM 1024M
Operation panel: Front / Rear: Angle of 5-10
Operation monitor: 17" TFT LCD Monitor
2005 vintage.
LAM RESEARCH Vector는 최첨단 반도체 도구 제공 업체 인 LAM RESEARCH가 제조 한 강력한 에처/아스퍼입니다. 벡터는 고정밀 고수율 반도체를 생산할 수 있는 경제적인 플랫폼을 제공합니다. 이 제품은 유전체 장치 및 재료 (예: 커패시터, 저항기, 메모리 셀) 의 효율적이고 비용 효율적인 제조를 제공하도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH Vector의 핵심 구성 요소에는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만든 균일 한 챔버와 직관적 인 인터페이스가있는 데스크탑 유틸리티 소프트웨어가 포함됩니다. 약실 은 여러 가지 구성 요소 들 을 수용 할 수 있도록 만들어졌는데, 그 크기 는 조그마 한 조각 에서부터 더 큰 장치 에 이르기 까지 다양 하다. 그렇다. 챔버 내부에는 로봇 암 (robotic arm) 을 갖춘 샘플 홀더 (sample holder) 가 있으며, 이를 원격으로 작동시켜 샘플을 조작하고 매개변수를 조정하고 진행 상황을 모니터링할 수 있습니다. 벡터는 매우 높은 정밀도 에칭 프로세스를 사용하여 정확하고 일관된 결과를 보장합니다. "에칭 '과정 은" 레이저' 나 "플라즈마 '와 같은" 에너지' 원 에 의존 하여 표본 에서 미세 하고 균일 한 물질 을 제거 한다. 이 에칭 프로세스는 인상적인 정확도로 엄청나게 작은 기능을 만드는 데 사용될 수 있습니다. 그런 다음, LAM RESEARCH Vector (LAM RESEARCH Vector) 의 고급 이미징 기술은 비디오 카메라를 사용하여 에칭 결과를 평가하기 위해 에칭 프로세스를 감지하고 모니터링합니다. 벡터 (Vector) 는 프로세스 및 온도 조절을 포함하여 다양한 사용자 정의 가능한 매개변수를 제공합니다. 따라서 에칭 (etching) 프로세스를 개별 사용자의 요구사항에 맞게 조정할 수 있습니다. LAM 리서치 벡터 (LAM RESEARCH Vector) 는 에칭 프로세스를 정확하게 제어함으로써 기존 에칭 프로세스와 비교하여 비용 및 시간의 일부분에서 고품질 부품을 작성할 수 있습니다. 강력한 하드웨어와 정교한 소프트웨어를 갖춘 벡터 (Vector) 는 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 위한 매우 다재다능하고 강력한 플랫폼입니다. 통일 된 챔버 (Uniform Chamber) 는 전례없는 정확도로 독특하고 정확한 부품을 생산할 수있는 반면, 이미징 기술과 커스터마이징 가능한 파라미터 (parameter) 는 경제적이면서도 신뢰할 수있는 에칭 시스템을 찾는 사용자에게 적합한 선택입니다.
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