판매용 중고 LAM RESEARCH Vector Frame #293667429

LAM RESEARCH Vector Frame은 다양한 기판을 에칭 및 개발하기위한 고급 에처/애셔입니다. 이 기계는 다양한 기판을 수용할 수있는 높은 처리량, 신뢰할 수있는 설계를 갖추고 있습니다. 에칭과 개발 모두에서 가장 발전된 기술을 갖추고 있습니다. 벡터 프레임 (Vector Frame) 은 이중 빔 증발 전자 총을 사용하여 해상도가 손상되지 않고 기판을 고속 에칭할 수 있습니다. 에칭 공정은 멀티 챔버 (multi-chamber) 모터 화 단계에 의해 모니터링되며, 전체 웨이퍼에서 균일 한 처리를 위해 정확한 빔 스티어링이 가능합니다. 기판은 고속 로딩 및 언로드가 가능한 4 포스트 기계식 시스템을 사용하여 프레임에 클램프됩니다. LAM RESEARCH Vector Frame은 또한 얇은 기질의 소프트 베이킹을위한 RF 모듈과 헬륨 (Helium) 누출이있는 로드 락 시스템 (load-lock system) 을 갖추고 있으며 비활성 대기에서 웨이퍼 처리가 가능합니다. "웨이퍼 '처리 는" 헬륨' "스크러버 '에 연결 되어" 시스템' 에서 오염 물질 을 제거 할 수 도 있다. 벡터 프레임은 기존 시스템에 비해 여러 가지 장점이 있습니다. 진공 베이킹 프로세스의 필요성을 없애고, 시간과 비용을 절감합니다. 또한 직경 2 "~ 4" 의 기판을 4 미크론의 정확도로 처리 할 수 있습니다. 기계는 시간당 최대 20 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 작동하기가 매우 쉽습니다. LAM RESEARCH Vector Frame은 광범위한 기능을 갖춘 강력하고 신뢰할 수있는 etcher/asher입니다. 다양한 기판의 고정밀 에칭 및 처리에 이상적입니다. 이 기계는 정확성과 반복성으로 뛰어난 정확성과 결과를 제공합니다. 고급 기능을 갖춘 벡터 프레임 (Vector Frame) 은 다양한 에칭 및 개발 어플리케이션에 적합한 선택입니다.