판매용 중고 LAM RESEARCH Vector Extreme #9375208

LAM RESEARCH Vector Extreme은 보다 높은 처리량과 높은 수율을 제공하도록 설계된 매우 정밀한 etcher/asher입니다. 생산성 중심의 엔지니어링 설계 및 아키텍처를 갖춘 '생산/연구 연구소' 의 최상위 모델입니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 다양한 작업, 프로젝트 및 기판의 유연성을 극대화할 수 있는 맞춤형 설계를 갖추고 있습니다. 최대 스프레이 챔버 크기 85x48 인치로 구성 할 수 있습니다. 50-250C의 온도. 최대 속도 24 "/min을 달성 할 수 있습니다. 더 빠른 움직임을 위해 정확한 선형 스테핑 모터 (linear stepping motor) 및 직접 구동 선형 가이드 시스템 (direct drive linear guide system) 이 장착되어 있습니다. 에처/애셔에는 통합 가스, 에치, 냉각 경로가 있으며, 이는 또한 정확하고 반복 가능한 고효율 프로세스 결과를 가능하게합니다. Vector Extreme (Vector Extreme) 의 제어 매개변수는 사용이 간편하고 직관적인 소프트웨어 덕분에 사용자 정의할 수 있으며, 이를 통해 고급 기능을 최대한 활용할 수 있습니다. 또한, 이 etcher/asher는 처리 된 기판의 균일 한 두께를 위해 임베디드 쿼드 채널 다이오드를 사용하는 자동 엔드 포인트 감지 기능을 가지고 있습니다. 고급 핀 캐리 시스템과 높은 정밀도의 자동 헤드 호밍이 있습니다. 스테인리스 스틸 챔버 및 표준 먼지/샤워 필터를 갖춘 LAM RESEARCH Vector Extreme은 안정성이 뛰어나고 생산용 클린 룸 호환 플랫폼을 제공합니다. 자동 프로세스 중단 (Automatic Process Interruption), 빈 로드 중지 감지 (Empty Load Stall Detect) 및 다중 콘센트 전원 (Multiple Outlet Power) 과 같은 안전 기능을 통해 전원 중단 시 사용자의 안전을 보장합니다. 벡터 익스트림 (Vector Extreme) 은 에칭/애싱 (eching/ashing) 및 기타 어플리케이션에 대한 높은 생산성과 장기적인 신뢰성을 지원하도록 설계되었으며, 장치 생산당 저렴한 비용에 적합합니다. 데이터 로그 (data log) 와 종합적인 경보 시스템을 갖춘 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 현대 연구 및 생산 실험실에 이상적인 선택입니다.