판매용 중고 LAM RESEARCH Vector Extreme #9235820

LAM RESEARCH Vector Extreme
ID: 9235820
웨이퍼 크기: 12"
CVD System, 12".
LAM RESEARCH Vector Extreme은 뛰어난 신뢰성, 생산성 및 정밀도를 제공하도록 설계된 에처/애셔입니다. 벡터 익스트림 (Vector Extreme) 은 성능을 극대화하고 프로세스 제어를 개선하는 통합 솔루션을 제공하며, 가변성을 줄입니다. 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에서 가장 높은 밀도와 정확도를 제공하여 에칭 시간을 단축하면서 가장 어려운 응용 프로그램을 처리합니다. LAM 리서치 벡터 익스트림 (LAM RESEARCH Vector Extreme) 의 고급 디자인은 최적화된 에지 전환, 정교한 열 관리, 미세 피치 코팅 기능을 통해 모든 응용 프로그램에 뛰어난 에칭 정확성과 정밀도를 제공합니다. 이 기기는 개방형 아키텍처를 갖춘 올인원 (All-in-One) 성능 플랫폼으로 설계되어 모든 구성요소의 프로세스 통합 및 최적의 성능을 효율적으로 제공합니다. 빠른 응답과 높은 충실도 결과를 위해 혁신적인 2 구역 공정 챔버를 사용합니다. 벡터 익스트림 (Vector Extreme) 은 챔버 전하를 줄이고 과도한 입자를 최소화하도록 설계된 최신 진공/가스 인터페이스 기술을 사용합니다. 또한 가변 빔 (variable beam) 기술이 적용되어 에칭 프로세스를 빠르고 정확하게 관찰 할 수 있습니다. 이 제품은 높은 주파수 (High Frequency) 전원으로 정확성과 재현성을 향상시키고, 에칭/애싱 배경을 빠르게 전환할 수 있는 고급 빔 제어 기술을 제공합니다. LAM RESEARCH Vector Extreme은 제어 및 프로세스 최적화를 위해 고급 소프트웨어 패키지로 설계되었습니다. 정확한 출력을 보장하기 위해 엄격한 제어 매개변수를 유지하면서 프로그래밍 가능한 자동 에칭 (etching) 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 또한 강력한 데이터 획득 시스템 (Data Acquisition System) 을 통해 시간이 지남에 따라 에칭 (Etching) 및 애싱 (Ashing) 품질을 추적할 수 있습니다. Vector Extreme은 모듈식 플랫폼으로 설계되었으며 여러 가지 구성으로 제공됩니다. 다양한 응용 프로그램 및 전체 시스템 자동화를 수용하도록 설계되었습니다. 대용량 처리량 애플리케이션과 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 효과를 테스트하는 데 이상적인 옵션입니다. 새로운 필름 재료와 프로세스의 특성을 포함한 연구 응용 프로그램 (research application) 에도 사용될 수 있습니다. LAM RESEARCH Vector Extreme (LAM RESEARCH Vector Extreme) 은 모든 에칭 또는 애싱 응용 프로그램에 뛰어난 성능과 프로세스 정밀도를 제공하는 신뢰할 수 있는 다용도 에처/애셔입니다.
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