판매용 중고 LAM RESEARCH Vector Extreme #9235156

LAM RESEARCH Vector Extreme
ID: 9235156
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2008
CVD System, 12" 2008 vintage.
LAM RESEARCH Vector Extreme은 매우 높은 선택성, 정밀도 및 처리량을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 그것은 도전적인 재료의 미세 피치 패턴을 가능하게하는 고급 레이저 머시닝 플랫폼을 특징으로합니다. 또한 빠른 응답 빔 포지셔닝 (Fast-Response Beam Positioning) 기술이 적용되어 탁월한 성능과 뛰어난 전체 처리량을 제공합니다. Plus-Series Laser Higher 및 Low-Energy Etch 제품은 유전체 및 반도체 재료를 포함한 다양한 재료에 매우 높은 선택성을 가진 고급 레이저 마이크로 머시닝을 제공합니다. 이 장비는 여러 개의 레이저 소스와 기계 전체에 위치한 고밀도 고감도 검출기를 결합합니다. 따라서 고도로 선택적인 에칭을 다룰 때 매우 정밀하고 빠른 응답 시간이 발생합니다. 벡터 익스트림 (Vector Extreme) 은 불규칙한 모양, 미세한 선 또는 복잡한 구조의 제어, 초고속 벡터 구동 패턴화를 위해 동시에 레이저 빔을 분배할 수 있습니다. LAM RESEARCH Vector Extreme은 더 빠른 처리량을 위해 매우 정밀한 빔 배치를 제공합니다. 이것은 고급 빔 포지셔닝 알고리즘과 새로운 고감도 피드백 시스템 (high-sensitivity feedback system) 의 조합으로 이루어집니다. 즉, 빔이 정확하고 샷에서 샷까지 반복 가능한 포지셔닝을 제공합니다. 이 장치에는 프로세스 제어 기능 (process control feature) 이 통합되어 있어 원하는 결과의 반복성과 정확성을 보장합니다. 이 기능은 사용자가 일관된 프로세스를 개발하고, 원하는 결과를 보장하기 위해 에칭 (etching) 매개변수를 모니터링하고 조정하는 데 도움이 됩니다. 마지막으로, Vector Extreme 은 원격 시스템 (제어 및 자동화), 타사 시스템 (운영 및 모니터링) 과 같은 광범위한 통합 옵션을 제공합니다. 즉, 시스템에 유연성 (Flexibility) 을 더하여 다양한 애플리케이션을 단일 플랫폼에서 관리할 수 있습니다.
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