판매용 중고 LAM RESEARCH Vector Extreme #9137285

LAM RESEARCH Vector Extreme은 반도체 기판에서 매우 정밀하고 질감 넘치는 표면을 형성하는 데 사용되는 CMP (chemical-mechanical polishing) 장비의 일종 인 고급 etcher/asher입니다. 대용량 생산 어플리케이션에 적합한 패턴을 제공합니다. 벡터 익스트림 (Vector Extreme) 의 유연성과 확장성을 통해 업계에서 가장 널리 사용되는 에처/애셔 중 하나입니다. LAM RESEARCH Vector Extreme (LAM RESEARCH Vector Extreme) 에는 etch 프로세스에서 고속 다용성이 가능하며 처리량을 증가시키는 다양한 프로세스 단계를 결합하는 기능이 있습니다. 3 헤드 모듈은 고정밀 (high-precision) 패턴화 및 장치 제작을 위해 특별히 설계되어 단일 스캔을 통해 선택적 에치 (etch) 프로세스를 수행할 수 있습니다. 벡터 익스트림 (Vector Extreme) 에는 고밀도 패턴화를 위해 균일한 에칭 및 일괄 일관성을 보장하는 고급 고주파 드라이브 시스템이 포함되어 있습니다. LAM RESEARCH Vector Extreme은 비용을 절감하고 생산성을 향상시키도록 설계된 몇 가지 독특한 특성을 갖추고 있습니다. 반복 스캔 기능을 사용하면 etch 매개변수를 빠르게 튜닝할 수 있으며, 다중 다이 (multi-die) 기능을 사용하면 여러 개의 다이가 있는 단일 웨이퍼에서 고정밀 패턴화가 가능합니다. 통합 스캔 필터 시스템은 차단을 최소화하고 원활하고 중단되지 않은 생산을 보장합니다. 또한, 미니램프 시스템은 에치 헤드의 정확한 이동을 허용하여 정확도를 높이고 낭비 된 화학 물질과 시간을 줄입니다. Vector Extreme의 듀얼 헤드 모듈은 연마제 및 화학 연마 기능의 독특한 조합을 제공합니다. 앰비언트 미디어 디자인 (Ambient Media Design) 은 냉각 기능이 향상되었고 기판 워핑이 감소하여 수율이 향상되었습니다. 또한 LAM RESEARCH Vector Extreme의 독점 노즐 기술을 통해 패턴 처리 중에 균일 한 에치 분배가 가능합니다. Vector Extreme의 고급 기능은 유연성과 확장성으로 더욱 향상되었습니다. 메인프레임은 특정 제조 요구 사항을 충족하도록 신속하게 재구성 및 맞춤 구성할 수 있습니다. 에치 헤드 (etch head), 코터 (coater), 스피너 (spinner) 및 챔버 (chamber) 도 쉽게 교환 가능하여 제조업체가 한 프로세스 단계에서 다음 프로세스 단계로 빠르게 변경할 수 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Vector Extreme의 고급 기능과 확장성을 통해 대용량 운영 애플리케이션에 이상적인 툴이 됩니다. 최첨단 기능은 정확한 패턴화 (patterning) 및 빠른 에칭 (etching) 프로세스를 가능하게 하며, 모듈식 설계를 통해 제조업체는 변화하는 제조 조건에 신속하게 적응할 수 있습니다. 비용 절감과 효율성이 향상되어 업계 최고의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 솔루션 중 하나입니다.