판매용 중고 LAM RESEARCH Vector Express #9195777

LAM RESEARCH Vector Express
ID: 9195777
웨이퍼 크기: 12"
CVD Systems, 12".
LAM RESEARCH Vector Express (LAM RESEARCH Vector Express) 는 가장 까다로운 생산 환경에서 성능과 신뢰성을 제공하기 위해 설계된 고급 etcher/asher입니다. 이 장치는 특허를받은 이중 종횡비 열 형성 (dual aspect-ratio thermal formation) 을 특징으로하며, 다양한 재료 및 응용 분야에서 균질한 에칭을 제공 할 수 있습니다. 이 장비의 고급 웨이퍼 형상 탐지 (advanced wafer geometry detection) 및 코너 모서리의 균일 한 보호 (uniform protection) 는 안정적이고 효율적인 프로세스를 위한 최적의 웨이퍼 커버리지를 보장합니다. Vector Express의 통합 냉각 시스템은 일관된 결과를 얻기 위해 필요한 범위 내에서 온도를 유지합니다. 이 장치는 다양한 가스 옵션, 산소가 풍부한 환기 및 냉각 회로를 제공하는 응급 보호 기계, NEMA (National Electrical Manufacturers Association) 표준을 충족하는 전금속 인클로저 (all-metal enclosure) 를 포함한 다양한 정교한 안전 기능으로 설계되었습니다. LAM RESEARCH Vector Express는 UL 인증을 받았으며 CE 표시가 장착되어 있습니다. Vector Express의 고급 사용자 인터페이스를 사용하면 프로세스 프로그래밍 및 모니터링을 쉽게 수행할 수 있습니다. 여기에는 여러 조건 설정 매개변수를 적용하고 저장된 에치 레시피 (etch recipe) 및 프로세스 프로그램을 저장/회수하는 기능이 포함됩니다. 이 도구에는 etching 프로세스를 스크립팅하고 제어하는 기능을 제공하는 여러 스크립팅 언어가 포함되어 있습니다. 또한 etcher/asher는 LAM Vector Control 소프트웨어 (예: LAM Vector Control 소프트웨어) 와 같은 여러 소프트웨어 도구를 사용하여 원격 PC 또는 노트북에서 모든 에칭 프로세스를 모니터링, 추적 및 제어 할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 웨이퍼 온도, 챔버 압력 (chamber pressure) 및 기타 필수 프로세스 매개변수에 대한 실시간 데이터를 제공하도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH Vector Express는 전문 실험실 및 연구 센터를 위해 설계된 고급, 안정적이고 효율적인 etcher/asher입니다. 고급 안전 어플리케이션 (Advanced Safety Application), 동종 에칭, 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 통해 에칭 요구에 대한 포괄적인 솔루션을 찾는 사람들에게 적합한 선택이 가능합니다.
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