판매용 중고 LAM RESEARCH Vector Express #9137283

LAM RESEARCH Vector Express는 웨이퍼 수준의 처리 요구를 위해 설계된 고성능 에처 (일반적으로 asher라고도 함) 입니다. TSV (through-silicon-via), 반도체 포장, MEMS 및 광학 구성 요소와 같은 다양한 고급 기술 에칭 응용 프로그램에 사용됩니다. 벡터 익스프레스 (Vector Express) 는 light-induced electrochemical etching (LIEE) 기술, 기본 필름의 손상 또는 제거없이 다양한 기판에 사용될 수있는 가벼운 에칭 프로세스를 사용합니다. LAM 리서치 벡터 익스프레스 (LAM RESEARCH Vector Express) 장비는 제어 조건에서 고정밀 에칭을 가능하게 하며, 최대 10 nm 이하의 매우 정밀한 패턴과 고수율 장치 제조에 필요한 에치 요소를 달성합니다. 각 샘플이나 화학 물질에 대해 펄스 매개변수, 광원 강도, 가스 유형 (gas type) 을 설정하여 각 기질에 대해 최적의 에칭 성능을 제공하는 등 다양한 조건을 허용합니다. 주 공정 과 "오븐 '은 진공실 을 사용 하여, 입자 수 와 공정 의 오염 을 감소 시킨다. Vector Express는 온도 구배 연결 온도 제어를 통해 온도를 제어합니다. 이 기능은 온도 안정성을 보장하며, 이는 균일 한 에칭 프로세스와 고품질 장치의 생산에 중요합니다. 이 시스템은 또한 시간 효율을 위해 자동 냉각 장치 (Automated Cooling Unit) 를 사용하며, 냉각 주기가 완료될 때까지 기다리지 않아도 되고, 정지하지 않을 수 있습니다. 이 시스템은 또한 저항성 제어 (Resistivity Control), 레시피 제어 (Recipe Control), 전체 프로세스 모니터링 (Full Process Monitoring) 과 같은 자동화된 사용자 인터페이스 솔루션을 제공하여 정확성과 반복 가능성을 보장합니다. 또한이 도구는 광학 방출 스펙트럼 감지 및 분석을 포함한 통합 프로세스 진단 및 SEM (Scanning Electron Microscopy) 및 CAI (Contact Angle Imaging) 와 같은 이미징 기능을 제공합니다. LAM RESEARCH Vector Express는 과학 연구 및 산업 제조의 정확한 프로세스 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 자산은 ISO 9001 및 ISO 14001 인증을 받았으며, 업계 표준에 따라 정해진 엄격한 안전 및 품질 요구 사항을 충족합니다.