판매용 중고 LAM RESEARCH Vector Express #9099741

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ID: 9099741
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
CVD System, 12" Front UI System controller: MC3E, 02-257935-00 Module Controller: MC3E, 02-253704-00 IOC: IOC No.0, 1, 2, 3 HDSIOC ATM Robot & controller: Brooks reliance 8 / Friction type / controller 129974 Trust controller: C-2027-D01 Main power box: 208VAC /3 Phase main 150A, full load 100A ULPA Filter Pod loader: 3 / Fix load 6M LL/FE Interface PCB: 03-283968-00 ATM Door valve: (2) VAT Chamber slit valve: (2) SMC L/L Manometer: 10 Torr 750B 11TCE2GK Vacuum switch LTM type: LTM II Preheat pedestal Pedestal lift type: Servo motor Vent / purge valve L/L On-board pump: Kawasaki 27-283364-00 NV60N-2 Module type: PSIN HF Generator: Apex 3013 LF Generator: PDX 2500 HF Auto matcher: 27-279938-00 / Navigator 10013-L80MFI 3155162-002 D RF Distribution type: Balance kit RPC Source: Large RPC / Astron hf-s / 27-282770-00 RPC Power supply: AX7645 Pedestal: Standard type Showerhead Endpoint detector: IREPD - MKS Gas box: 02-323496-00 / SRD 200107436 MFC: Brooks SLA7950S MFC A: N2O(L) 1500 MFC B: N2 20000 MFC C: Ar 10000 MFC 1: SiH4 1500 MFC 2: N2 10000 MFC 5: He 20000 MFC 6: NH3 20000 MFC 7: N2O(H) 25000 MFC 8: O2 30000 MFC 9: NF3 10000 Arm position detector: Local manufactured option Gauge monitoring kit: Local manufactured option Spindle type: Servo motor, 27-278697-00 Stn No.1 pin lift type: Servo motor 2007 vintage.
LAM RESEARCH Vector Express는 반도체 제조 산업에서 가장 발전된 응용 프로그램의 요구를 충족시키기 위해 설계된 차세대 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 이 장비에는 4 개의 강력한 에칭 및 애싱 시스템 (eching and ashing system) 이 장착되어 있으며, 각각은 다양한 재료를 독립적으로 에칭하고 재가 가능합니다. 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 시스템은 고출력 자동 제어 시스템으로 독특하게 설계되어 안정적이고 정확한 결과를 제공합니다. 이 시스템을 사용하면 다중 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 시스템을 동시에 작동시켜 최고 품질의 에칭 및 애싱 (ashing) 결과를 생성하도록 협력할 수 있습니다. 자동 제어 장치 (Automated Control Unit) 는 직관적인 메뉴와 함께 간단한 사용자 인터페이스를 제공하여 사용자가 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 제어할 수 있도록 합니다. 이 기계는 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 레시피를 작동시켜 사용자가 원하는 프로세스 단계를 달성하도록 설계되었습니다. 또한 가변 에칭 속도, 프로그래밍 가능한 온도, 압력 설정, 가변 가스 흐름 등의 고급 제어 기능을 사용합니다. 에셋에는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 모니터링하는 진단 도구가 포함되어 있어 품질 제어가 향상됩니다. 벡터 익스프레스 (Vector Express) 는 향상된 안전 기능을 활용하여 에칭 및 애싱 프로세스의 일관성과 정확성을 보장합니다. 그것 은 "챔버 '의 열악 한 환경 으로부터 민감 한 성분 들 을 격리 시키는 독특 한" 챔버' 구조 방법 을 이용 하여 "챔버 '에 아무런 손상 도 주지 않고" 에칭' 과 "애싱 '과정 을 수행 할 수 있다. 이 모델에는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 사용되는 위험한 화학 물질이 작업 영역에 들어가지 못하도록 독특한 증기 타이트 인감 (vapor-tight seal) 이 포함되어 있습니다. 이 장비에는 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스에 대한 실시간 보고서를 제공하는 강력한 진단 도구 (diagnostic tool) 도 포함되어 있으며, 사용자가 그에 따라 에칭 및 어싱 매개변수를 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 이 진단 도구를 사용하면 신속한 문제 해결이 가능하며, 시스템 성능에 대한 피드백을 사용자에게 제공합니다. 이 실시간 피드백은 사용자가 최고의 품질의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 결과를 위해 장치를 최적화할 수 있도록 합니다. LAM RESEARCH Vector Express는 또한 시스템 TCO (소유 비용) 를 절감하는 향상된 성능 기능을 제공합니다. 수작업 유지 보수가 거의 또는 전혀 필요하지 않으며, 자가 보정 기능으로 일관적인 품질과 안정성이 보장됩니다. 모듈식 (Modular) 설계를 통해 추가 에칭 (Etching) 및 애싱 (Ashing) 시스템을 통합할 수 있으며 사용자의 요구에 따라 도구를 위아래로 확장할 수 있는 유연성도 제공합니다. 벡터 익스프레스 (Vector Express) 는 반도체 업계에서 가장 까다로운 어플리케이션을 충족할 수 있는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 솔루션을 제공하는 고성능, 신뢰성이 뛰어난 도구입니다. 그 고급 기능 및 유연성 (Flexibility) 은 모든 반도체 제조업체의 생산 라인에서 필수적인 부분을 유지할 수 있도록 합니다.
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