판매용 중고 LAM RESEARCH Torus 300S #9294018

LAM RESEARCH Torus 300S는 정교한 기능 기능을 제공하는 업계 최고의 etcher/asher입니다. 이 시스템은 복잡한 장치 구조를 처리하기위한 혁신적인 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 기술의 조합을 제공하는 데 사용되는 최초의 시스템입니다. 토러스 300S (Torus 300S) 와 함께 제공되는 독특한 프로세스 기능에는 실리콘, III/V 및 기타 다양한 재료의 전문 등급 에칭 및 재싱을 수행 할 수있는 기능이 포함됩니다. LAM RESEARCH Torus 300S는 고정밀 스테퍼 모터 구동 스테이지가있는 넓은 면적의 에치/애쉬 챔버로 최대 8 인치 및 고급 에칭/애싱 시퀀스 (etching/ashing sequence) 의 더 큰 웨이퍼 크기를 지원합니다. 에칭 및 애싱 프로세스 기능에는 회전 및 수직 패턴, 유전체 에치 및 스트립, 패턴 전송, 이방성 에칭, 저항 에칭 및 간격 폐쇄가 포함됩니다. 또한 챔버 제어 및 고급 에지 격리 기법을위한 고급 소프트웨어 및 제어 하드웨어가 있습니다. Torus 300S etcher/asher는 가장 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며, 고정밀 프로세스 제어는 모든 etch 단계 및 우수한 생산 처리량에서 균일성을 달성하기위한 반복성을 보장합니다. 단방향 패턴화 (Uni-Directional Patterning) 에서 가장 낮은 균일성 영향으로 5nm 미만의 구조를 생성 할 수있는 뛰어난 프로세스 충실도를 제공합니다. 또한, 매우 높은 생산성을 통해 200 ~ 400nm 의 노출 범위를 확보할 수 있으며 일관된 중요한 기능 성능을 제공합니다. 사용자 친화적 인 장비는 이전 모델과 비교하여 다양하게 통합된 하드웨어 구성 요소와 기능을 제공하여 고급 CMOS, MEMS, 전원 IC, 전원 증폭기, RFID, MEM, MCM 및 기타 어플리케이션을 포함한 다양한 에칭/애싱 어플리케이션에 이상적인 시스템입니다. 또한 고 종횡비 기능, 나노 채널, etch dry-etch 포스트 프로세싱 등과 같은 특수 에치 프로세스를 지원할 수 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Torus 300S는 최신 기술 및 독점 기능을 갖춘 프리미엄 에처/애셔 (etcher/asher) 로, 복잡한 장치 구조 처리에 사용할 수있는 최고의 에칭/애싱 도구 중 하나입니다. 즉, 프로세스에서 가장 높은 정밀도, 처리량, 신뢰성을 필요로 하는 디바이스 디자이너에게 적합합니다.