판매용 중고 LAM RESEARCH Torus 300S #9268953

LAM RESEARCH Torus 300S는 대용량 제조 응용 분야에서 높은 정확도의 에칭 및 스테인리스 스틸 애싱을 제공하도록 설계된 에칭/포부 장비입니다. 토러스 300S (Torus 300S) 에는 정확한 기판 배치를 보장하기 위해 높은 정확도의 플로팅 척 (floating chuck) 을 포함한 다양한 기능이 장착되어 있습니다. 다중 주파수 에칭을위한 통합 계단식 RF 생성기; 핸즈프리 애싱 프로세스; 웹 기반의 자동 프로세스 제어 시스템. LAM RESEARCH Torus 300S는 평면 패널 기능과 높은 정확도의 부동 척 (floating chuck) 으로 인해 작고 큰 기판을 에칭하기에 이상적인 선택입니다. RF 생성기를 사용하면 다중 주파수 에칭 (multi-frequency etching) 을 포함한 다양한 에칭 프로세스를 완전히 조절 가능한 전압 범위로 사용할 수 있습니다. 부동 척을 사용하면 정확한 기판 위치를 지정하여 높은 정확도의 에칭 및 애싱 (ashing) 을 보장합니다. 또한 Torus 300S에는 핸즈프리 애싱 (Hands-Free Ashing) 프로세스가 장착되어 있어 수동 개입 없이도 효율적인 스테인리스 스틸 애싱 (Stainless Steel Ashing) 이 가능합니다. LAM RESEARCH Torus 300S는 또한 웹 기반의 자동 프로세스 제어 장치 (Automated Process Control Unit) 를 사용하여 에칭 및 어싱 프로세스를 실시간으로 모니터링 할 수 있습니다. 이 프로세스 제어 머신 (process control machine) 은 고급 논리 레시피를 통해 프로세스 최적화를 제공하도록 설계되었습니다. Torus 300S 에는 작업 추적 및 최적화를 위한 실시간 피드백 툴 (feedback tool for job tracking and optimization) 및 최고 품질의 에칭 프로세스를 보장하는 통합 광 품질 제어 자산 (optical quality control asset) 과 같은 다양한 모니터링 기능이 포함되어 있습니다. 또한 LAM RESEARCH Torus 300S는 가장 까다로운 환경 및 안전 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 내부는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 과 아노디 화 된 알루미늄으로 건설되어 장기적인 내구성을 보장합니다. 이 모델에는 모든 공정 기체 (process gase) 를 감지하고 모니터링하도록 설계된 통합 가스 안전 (gas safety) 장비가 장착되어 있습니다. Torus 300S는 대용량 제조 응용 프로그램에서 높은 정확도의 에칭 및 애싱 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 높은 정확도의 플로팅 척 (floating chuck), 내장형 RF 생성기, 핸즈프리 애싱 프로세스 (Hands-Free Ashing Process), 웹 기반의 자동화된 프로세스 제어 시스템 등 다양한 기능을 통해 고밀도 결과와 최대 프로세스 제어가 필요한 Etcher 및 Asher를 선택할 수 있습니다.