판매용 중고 LAM RESEARCH Torus 300S #9235357

LAM RESEARCH Torus 300S는 LAM RESEARCH의 최신 PVD 제품의 고급 etcher/der입니다. 이것은 민감한 반도체 재료의 에칭, 스트리핑 및 패턴을 위해 설계된 수직, 벤치탑 기기입니다. 매우 빠른 에칭 속도로 Torus 300S는 뛰어난 균일성과 생산성을 제공합니다. LAM RESEARCH Torus 300S는 높은 병렬성과 낮은 입자 오염을 제공하는 강력하고 유연한 에처입니다. 이 에처는 초전도체 에칭, MEMS 구성 요소, 실리콘 웨이퍼 등 다양한 응용 분야에 이상적입니다. 고속 에칭 프로세스는 배치 및 단일 웨이퍼 프로세싱, MEMS 모두에 적합합니다. 토러스 300S (Torus 300S) 에는 깨끗하고 벗겨진 웨이퍼를 모두 처리 할 수있는 고급 에칭 장비가 장착되어 있습니다. 두 개의 독립 챔버 (독립 챔버) 가 장착되어 있으며, 각각 가공소재 양쪽에 에칭이 가능합니다. 시스템의 독특한 설계는 에칭 프로세스 전반에 걸쳐 완전한 균일성을 허용합니다. 이 장치는 배치 또는 단일 웨이퍼 처리 환경에서 사용하도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH Torus 300S에는 에칭 프로세스를 모니터링, 제어 및 조정하기위한 고급 기능도 있습니다. 여기에는 최적의 가스 분배를위한 통합 4 채널 유량 미터와 압력 및 온도 컨트롤러 (pressure and temperature controller) 가 포함됩니다. 이 기계에는 연동 도구, 비상 정지 스위치, 과압 방지 경고 (overpressure protection alarm) 와 같은 다양한 안전 기능도 포함되어 있습니다. Torus 300S는 에칭 기능 외에도 빠른 복구 cryostat, 고해상도 이미징 자산, 코팅 용 고성능 PVD 모델을 갖추고 있습니다. 이미징 장비는 에칭 (etched) 표면의 고해상도 이미지를 캡처하여 쉽게 분석 할 수 있습니다. PVD 시스템 (PVD System) 은 정확한 재료와 두께를 사용하는 데 도움이 되므로 모든 에칭 (etching) 프로세스에서 중요한 부분입니다. LAM RESEARCH Torus 300S는 일관성 있고 뛰어난 결과를 제공하는 강력하고 신뢰할 수있는 etcher/der입니다. 고급 기능 (advanced features) 과 기능 (capability) 을 결합하면 민감한 재료를 위한 고성능 에칭 장치를 필요로 하는 사람들에게 이상적인 선택이 됩니다.