판매용 중고 LAM RESEARCH Torus 300K #9311158

LAM RESEARCH Torus 300K는 에처 (etcher) 또는 애셔 (asher) 로, 패턴을 기판 재료로 에칭하는 데 사용되는 기계 유형입니다. 고도로 고급적이고 정교한 툴로서, 정확하고, 고품질의 패턴을 빠르고 효율적으로 만들 수 있도록 설계되었습니다. 300K 와트 (WW) 전원 공급 장치를 갖추고 있으며, 다양한 온도에서 작동할 수 있어 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 기계에는 원하는 결과를 얻기 위해 함께 작동하는 몇 가지 주요 구성 요소가 있습니다. 첫 번째는 소스 챔버 (source chamber) 로, 에치 패턴을 만드는 데 사용되는 가스가 들어 있습니다. 그것 은 수집실 에 연결 되는데, 이 "가스 '는 과도 한" 가스' 로 전달 되어 기계 내 에 수집 하여 재활용 할 수 있다. 기계의 두 번째 부분은 제어 장치 (control unit) 인데, 전원 공급 장치를 제어하여 다양한 에칭 매개변수를 설정하여 에칭 (etching) 프로세스를 시작하거나 중지하는 데 사용됩니다. etch 시간, 라인 속도, 펄스 폭 등의 다른 매개변수도 구성할 수 있습니다. 토러스 300K (Torus 300K) 는 전극의 침전물을 기판 물질로 사용하여 패턴을 세분화합니다. 이것 은 여러 가지 짧은 "마이크로 '파" 펄스' 를 사용 하여 "가스 '를" 이온' 화 시킨다. 이 과정에서 형성된 분자는 기질 물질을 분해하여 패턴 (pattern) 을 생성합니다. 정확한 패턴은 제어 장치 (Control Unit) 에 입력한 설정에 따라 달라지며, 사용자 정의 설계 및 모양이 가능합니다. 결과는 정확하고 복잡한 설계로, 결함이 낮고 균일성이 높게 반복됩니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Torus 300K는 빠르고 효율적으로 패턴을 생성 할 수있는 강력하고 정교한 etcher/asher입니다. 다양한 설정 (settings) 을 통해 뛰어난 균일성과 신뢰성을 갖춘 복잡한 설계를 만들 수 있습니다. 이 다양성은 다양한 에칭 (etching) 어플리케이션에 적합한 선택입니다.