판매용 중고 LAM RESEARCH Torus 300B #9408569

LAM RESEARCH Torus 300B는 통합 회로 제조에 적용되도록 특별히 설계된 에처/애셔입니다. 이것은 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업에 사용될 수있는 고도로 전문화 된 에처 및 애셔입니다. 토러스 300B (Torus 300B) 는 트윈 가스 전달 장비를 특징으로하여 사용자에게 반응성 가스 혼합물 또는 동위 원소를 사용할 수있는 유연성을 제공합니다. 넓은 활성 영역은 가장자리 해상도를 손상시키지 않고 고밀도 에칭 및 애싱 (ashing) 을 허용합니다. LAM RESEARCH Torus 300B 챔버는 시간 및 에너지 잠금 배송을 위해 설계되었으며, 이를 통해 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. 조절 가능한 압력 범위는 최대 5mbar이며 조정 가능한 온도 범위는 -5 ° C ~ + 150 ° C입니다. 이를 통해 다양한 에칭 매개변수로 거의 모든 재료를 효과적으로 에치할 수 있습니다. 그것 은 또한 금속 과 유전체 를 퇴적 시키는 데 사용 될 수 있으며, 그것 은 광범위 한 "제조 '작업 에 이상적 이다. 토러스 300B (Torus 300B) 는 열 증발기를 사용하여 금속과 유전체를 포함한 재료를 정확한 정확도로 배치 할 수 있습니다. 또한 에치 (etch) 모니터가 내장되어 있어 사용자가 에칭 프로세스의 진행 상황을 추적할 수 있습니다. 포함된 소프트웨어를 사용하여 사용자는 기판 재료, 주기 단계 수 (number of cycle steps), 포토마스크 패턴, 프로세스 제어 매개변수 등 다양한 에칭 매개변수를 프로그래밍할 수 있습니다. LAM RESEARCH Torus 300B는 진공 챔버 (vacuum chamber) 에 둘러싸여 있어 프로세스 환경을 안정적으로 유지하므로 사용자가 반복 가능하고 신뢰할 수있는 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 간편한 설치 및 최소한의 유지 관리를 위해 설계되었습니다. Torus 300B 는 자동 자가 진단 시스템을 사용하여 모든 장치 문제를 신속하게 진단하고 해결할 수 있습니다. LAM RESEARCH Torus 300B는 안전을 염두에두고 제작되었습니다. 비상시 공구를 빠르게 차단하고 가스를 대피시키는 비상용 연동기 (Emergency Interlock Machine) 가 특징입니다. 또한 기본 제공되는 압력 및 온도 모니터링 자산이 포함되어 있습니다. 이러한 모든 기능은 운영자가 안전하고 호환 가능한 환경에서 작동하도록 합니다. 전체적으로 Torus 300B는 고품질 집적 회로 제조에 이상적인 에처이며 애셔입니다. 트윈 가스 전달 모델 (twin-gas delivery model) 과 조절 가능한 압력 및 온도 범위를 통해 다양한 에칭 및 애싱 응용 프로그램을 쉽게 처리 할 수 있습니다. 조정 가능한 사이클 매개변수 (cycle parameter) 와 내장 안전 기능으로 운영자가 사용할 수 있도록 안정적이고 안전합니다.