판매용 중고 LAM RESEARCH Torus 300B #9407118

LAM RESEARCH Torus 300B는 단일 웨이퍼 에처이며 고정밀 웨이퍼를 빠르고 정확하게 처리하도록 설계되었습니다. 이 장비는 높은 선택성 (selectivity) 과 신뢰성 (안정성) 을 바탕으로 제작되어 다양한 복잡한 형태와 크기의 구조를 정확하게 만들 수 있습니다. Torus 300B는 정확한 균일 에칭을 위해 챔버 압력 (chamber pressure) 과 가스 흐름 (gas flow) 을 모두 모니터링하는 정확한 폐쇄 루프 피드백 제어로 작동합니다. 이를 통해 광범위한 응용 프로그램에 적합한 패턴 치수가있는 정확한 차등 식각 (differently-etched) 구조가 가능합니다. 이러한 응용 프로그램에는 고급 리소그래피, 미세 회로 및 MEMS 제작, 3D IC (3 차원 집적 회로) 및 고밀도 전자 장치가 포함됩니다. 일련의 2 단계 펌프는 견고하고, 빠르고, 매우 정확한 에칭 프로세스를 제공하여 처리량과 수율을 증가시킵니다. 이러한 펌프는 잠재적인 진동을 줄이기 위해 단단히 장착되고 진공으로 밀봉되는 반면, 포함 된 고정밀도 포지셔닝 서보 액츄에이터는 수동 처리 및 정렬을 제거합니다. 또한, 이 시스템은 특허를 획득한 통합 자체 정렬 플라즈마 소스 (Plasma Source) 를 통합하여 고급 프로세스 제어를 통해 고성능 작동을 보장합니다. LAM RESEARCH Torus 300B는 또한 FMM (Flexible Match Mode) 과 같은 광범위한 고급 기능을 제공합니다. 여기서 장치는 최적의 프로세스 타이밍을 따라 웨이퍼에 일관된 에칭 및 CTR (Selectable Cycle Time Reduction) 기능을 제공합니다. 비생산적인 주기 시간을 최대 70% 까지 줄일 수 있습니다. 또한, 이 기계에는 특허를받은 ULPE (Ultra Low Particle Etch) 프로세스를 포함하여 다양한 안전 및 보호 메커니즘이 포함되어 있으며, 유해한 배기 가스로부터 운영자 보호를 보장합니다. 전체적으로, 토러스 300B (Torus 300B) 는 신뢰할 수 있고 고급 에칭 툴로, 정확한 선택성과 균일성을 가진 복잡한 패턴을 만들 수 있습니다. 일련의 2 단계 펌프는 고성능 및 정확성을 제공하는 반면, 통합 자체 정렬 플라즈마 소스는 고성능 (HPO) 작동을 보장합니다. 또한, 자산은 또한 운영자 안전을 보장하기위한 안전 및 보호 메커니즘을 제공합니다.