판매용 중고 LAM RESEARCH Torus 300B #9407116
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LAM RESEARCH Torus 300B는 웨이퍼 처리를 위해 반도체 산업에 사용되는 고급 고정밀 etcher/asher 장비입니다. 에처는 에칭 및 연마 등 다양한 프로세스에 사용됩니다. 토러스 300B (Torus 300B) 는 다양한 에칭 및 클리닝 프로세스에서 매우 정확하고 반복 가능한 결과를 제공할 수 있는 완전 자동 도구입니다. LAM RESEARCH Torus 300B는 etch 매개변수에 대한 최대 제어를 위해 폐쇄 루프 반응 챔버와 통합 된 가스 제어 시스템으로 구동됩니다. 반응 "챔버 '는 빠르고 쉽게 변화 될 수 있으며, 서로 다른" 에치' 화학 물질 과 기질 사이 를 쉽게 전환 할 수 있다. 챔버의 용량은 최대 1.8L이며, 이 장치는 저온 에치 (etch) 옵션으로 설계되었습니다. Torus 300B는 운영 비용을 최소화하기 위해 고효율 반응 챔버로 설계되었습니다. 고급 프로세스 제어 (Advanced Process Control) 알고리즘과 향상된 하드웨어가 통합되어 뛰어난 프로세스 성능으로 반복 가능한 결과를 제공합니다. 에칭 프로세스 (etching process) 는 사용자의 친숙한 그래픽 인터페이스를 통해 실시간으로 모니터링할 수 있으며, etch 매개변수를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 이 도구의 통합 웨이퍼 처리 모듈은 빠르고 정확한 웨이퍼 로드 (wafer loading) 및 언로드 (unloading) 를 가능하게 하며 웨이퍼 처리를 간소화합니다. 사내 스크러빙 (in-situ scrubbing), 정밀 청소용 특수 펌프 (Pump) 등 다양한 추가 기능으로 자산을 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 고급 진공 패키지 (Advanced vacuum package) 를 통합하여 프로세스 정확도를 최적화하고 프로세스 시간을 줄일 수 있습니다. LAM RESEARCH Torus 300B는 사용자 친화적이고 신뢰할 수 있도록 설계되었으며, 프로세스 안정성과 반복성이 향상되었습니다. 이 모델의 인상적인 생산성과 성능은 오늘날 시장의 다른 에처 (etcher) 와 애셔 (asher) 와 차별화됩니다. 모든 반도체 제조 설비 (fabrication facility) 가 고급형 웨이퍼를 효율적이고 안정적으로 처리하고자 하는 최적의 선택입니다.
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