판매용 중고 LAM RESEARCH Torus 200 #9376881

LAM RESEARCH Torus 200은 광범위한 응용 프로세스의 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계된 etcher/asher입니다. 인라인 3 차원 이미징 장비, 다운 스트림 관측 포트 및 통합 컨베이어 시스템이 특징입니다. 이 다기능 에칭 및 애싱 장치는 단일 챔버에서 고 처리량 기판 준비 및 박막 증착에 이상적입니다. 토러스 200 (Torus 200) 은 동일한 챔버에서 에칭과 재싱을 결합한 고급 처리 다용성을 제공합니다. 여기에는 최대 4 개의 공정 가스를 지원하는 지능형 가스 제어 머신 (Gas Control Machine) 이 포함되어 있으며, 단일 사이클에서 여러 기판 및 필름 프로세스를 허용합니다. 가스 제어 도구 (gas control tool) 는 각 기판의 에칭 및 애싱 조건을 자동으로 조정하여 반응 매개변수를 최적화합니다. 정확한 기판 정렬, 간편한 공구 로드 및 언로드를 위해 통합 기판 컨베이어 에셋 (Conveyor Asset) 이 제공됩니다. LAM RESEARCH Torus 200은 인라인 3D 이미징 모델을 사용하여 처리 중 기판의 결함이나 불순물을 감지합니다. 자동화된 검사 장비는 프로그래밍된 데이터와 실제 기판 상태 (Substrate Status) 사이의 불순응을 감지할 수 있습니다. 이를 통해 최고의 프로세스 정확성과 제어를 위한 실시간 피드백을 얻을 수 있습니다. 하류 관측 포트는 또한 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 모니터링하고 조작하는 데 도움이됩니다. 이 포트는 뛰어난 관측 기능을 제공하며, 사용자가 기판의 전면 (front), 측면 (side) 및 후면 (back) 표면을 동시에 관찰할 수 있습니다. APS (Unique Automatic Placement System) 를 사용하면 표면의 불규칙성을 고려하여 기판 - 칼라에서 샘플의 위치를 최적화할 수 있습니다. 토러스 200 (Torus 200) 에는 인원과 장비 모두 안전성을 보장하는 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 품질을 더욱 향상시키기 위해 다른 PrCB 시스템과의 완벽한 통합을 지원하는 고급 임베디드 소프트웨어 솔루션을 사용할 수 있습니다. 이 장치의 가볍고 견고한 설계로 인해 파일럿 (pilot) 과 대규모 (large-scale) 생산 모두에서 여러 애플리케이션에 적합합니다. LAM RESEARCH Torus 200은 모두 다양한 응용 분야에 적합한 신뢰할 수있는 etcher/asher입니다. 다양한 프로세스 기능, 고급 이미징 머신, 통합 컨베이어 툴 (Conveyor Tool) 및 안전 (Safety) 기능을 갖춘 Torus 200은 높은 품질과 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공하여 고객의 다양한 요구를 충족합니다. 또한, 경량 (light weight) 과 견고한 구조로 인해 다양한 조건에서 연속적이고 자동화된 운영에 이상적입니다.