판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9608 #79000
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판매
ID: 79000
Metal Etcher
Lam Rainbow Classic Software Ver. E1.5-021
Stand Alone Installation
Bolt-On SMIF
Equipe Autoloader Configuration
9600SE Process Chamber
Monopolar ESC
Fixed Gap
12” TCP Coil
Seiko Seiki 1000ml TMP
Heated Pump Stack and Manifold
Photodiode Endpoint Detection (703nm & 261.8nm)
Chamber Liner
Hinged DSQ Chamber
WVDS
Remote AC Box
Remote Operator Interface
Atmospheric Passivation Module
Edwards 40/80 TCU
(3) Onboard Advanced Energy RFG 1250 RF Generators.
LAM RESEARCH TCP 9608은 에처/애셔 (etcher/asher) 로, 일반적으로 고 기술 에칭 및 애싱 업계에서 회로 보드 및 기타 집적 회로를 만드는 데 사용됩니다. TCP 9608은 처리율이 높고 품질이 우수한 생산 등급 etcher/asher입니다. 이 에처/애셔는 5 개의 독립 채널과 32 개의 프로세스 레벨로 구동되어 완전한 프로세스 유연성을 제공합니다. LAM RESEARCH TCP 9608의 통합 안전 기능은 안정적이고 안전한 운영을 보장합니다. TCP 9608 은 표준 (Standard) 또는 성능 (Performance) 프로세스를 사용하여 뛰어난 품질을 유지하면서 높은 처리율을 달성합니다. 고급 석판화 장비와 정밀 통합 도핑 시스템이 있습니다. 따라서 재료를 손상시키지 않고 복잡한 집적 회로를 쉽고 정확하게 만들 수 있습니다. 또한, LAM RESEARCH TCP 9608은 고효율이며, 비용을 줄이기 위해 최소한의 전력 만 소비합니다. TCP 9608은 다양한 재료를 사용하여 에치/애쉬를 할 수 있습니다. 이러한 물질에는 실리콘 산화물, 산화 알루미늄, 질화 알루미늄 등이 포함됩니다. 집적 "회로 '에 복잡 한 설계 를 만들기 위해서는 이 매우 다양 한 재료 가 필요 하다. 각 팬 빔을 독립적으로 미세 조정 할 수 있으므로, 총 제어 챔버 (gun control chamber) 도 에칭/애싱 (ashing) 할 때 유익합니다. 이를 통해 전체 생산 프로세스에 걸쳐 뛰어난 정확성과 반복성이 제공됩니다. LAM RESEARCH TCP 9608 (TCP 9608) 의 통합 안전 (Safety) 기능은 높은 처리율을 허용하면서 유해 물질로부터 보호하도록 설계되었습니다. 사전 플러시 (pre-flush) 및 사후 플러시 (post-flush) 시스템은 각 프로세스 전후에 챔버를 청소하여 필요없는 재료가 챔버 내에 남아 있지 않도록 합니다. 또한, TCP 9608 은 시스템에 대한 실시간 액세스를 제공하는 중앙 모니터링 및 제어 장치 (Control Unit) 에 연결됩니다. 이렇게 하면 프로세스를 원격 모니터링할 수 있으므로 예상치 못한 문제가 발생하지 않습니다. 결론적으로 LAM RESEARCH TCP 9608은 최고 품질의 에처/애셔입니다. 높은 처리 속도, 뛰어난 품질을 자랑하는 반면, 가장 비용 효율적인 시스템 중 하나입니다. 에치/애쉬 (etch/ash) 및 통합 안전 (integrated safety) 기능을 갖춘 다양한 재료가 사용 가능한 최고의 에처/애셔 중 하나임을 확인합니다.
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