판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9608 SE #9226416

LAM RESEARCH TCP 9608 SE는 알루미늄, 황동 및 기타 금속을 연마하도록 특별히 설계된 에처/애셔입니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 제어 된 플라즈마 소스를 사용하여 정확한 수준과 온도에서 금속 표면을 에치합니다. 이 시스템은 2 개의 개별 챔버에서 동시에 에치 (etch) 와 애셔 (asher) 를 할 수있는 매우 다양한 기계입니다. 첫 번째 챔버는 최대 701 ° C의 온도와 염소, 산소, 아르곤, 질소와 같은 다양한 가스에서 선택적 에칭 과정을 수행하도록 설계되었습니다. 박막 증착, 마스킹, 트렌치 및 패드 정의와 같은 프로세스 구조화에 이상적입니다. 제 2 챔버는 재 처리 공정을 수행하도록 설계되었으며, 최대 750 ° C의 온도가 가능합니다. 이것 은 "폴리머 ', 광저장제," 퍼플루로 폴리머' 및 "아아크릴 '과 같은 유기 물질 의 신속 하고 보다 효율적 인 발작 을 가능 케 한다. TCP 9608 SE에는 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스의 효율성을 향상시키는 몇 가지 기능이 있습니다. 방출 모니터 (Emission Monitor) 와 압력 센서 (Pressure Sensor) 를 장착하여 프로세스 안정성과 반복 가능한 작동을 보장합니다. 또한, 에치 챔버 (etch chamber) 는 에칭 및 애싱 공정의 정확한 제어를 위해 조절 가능한 유속 및 가스 혼합 시스템을 갖는다. 이 챔버 (chamber) 에는 여러 레시피를위한 통합 프로파일이 있어 일반적으로 사용되는 프로세스를 쉽게 저장하고 반복합니다. LAM RESEARCH TCP 9608 SE는 실험실 및 산업 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 안전한 작동을 위해 설계되었으며 안전 증대를 위해 내장 안전 실드를 제공합니다. 또한 CE 및 UL 표준을 준수하여 기계의 장수와 품질을 보장합니다. 이 시스템에는 프로세스 정확성을 보장하는 기능도 있습니다. 3 축 동작 기능 (platten of the platten) 을 최소화하고 정밀한 프로세스 측정을 초래합니다. 전반적으로 TCP 9608 SE는 연구원, 산업 엔지니어, 개발 전문가의 요구를 충족하도록 설계된 etcher/asher입니다. 이 제품은 정확한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기능과 사용자 보호를 위한 여러 가지 안전 기능을 제공합니다. 또한, 정밀 에칭 및 애싱 프로세스를위한 모션 기능과 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 이 장착되어 있습니다. 신뢰할 수 있고 다재다능한 etcher/asher를 찾고 있다면 LAM RESEARCH TCP 9608 SE는 훌륭한 선택입니다.