판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9608 SE #9157867

LAM RESEARCH TCP 9608 SE는 반도체 제조에 사용하도록 설계된 자동 etcher/asher입니다. 최대 300WPH의 속도로 최대 300 ~ 600 8 "웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 에처/애셔는 20 슬롯 카세트를 갖추고 있으며, 0.1mbar 미만의 챔버 압력 제어를 제공하며, 고성능 에치 프로세스를 제공합니다. 저압 처리를 특징으로하는 최초의 생산 에치 중 하나이며, 유기 증기 위상 에치와 호환됩니다. TCP 9608 SE는 모듈 식 구성을 특징으로하며 진공 시스템, 가스 및 재료 전달 시스템, 제어 시스템 및 HMI (Human Machine Interface) 를 포함한 자동 구성 요소 어레이와 함께 제공됩니다. 2 실 (two-room) 설계로 수동 로봇 유지 보수가 필요 없으며 클린 룸 호환성을 보장합니다. LAM RESEARCH TCP 9608 SE는 HMI 및 챔버 압력 및 공정 가스의 미세 제어 기능을 통해 쉬운 프로세스 제어를 제공합니다. 또한 유해 화학 물질의 방출을 막는 공정 가스 관리 시스템 (process gas management system) 을 포함하여 강력한 안전 시스템이 내장되어 있습니다. TCP 9608 SE는 하향식 플라즈마 소스를 가지고 있으며, 이는 균일성과 반복성이 높은 매우 반복적인 기능 패턴을 만드는 데 이상적입니다. 또한 원치 않는 화학 공정의 가능성을 최소화하는 분할 챔버 (split chamber) 설계가 있습니다. "에처 '의 약실 압력 은 가장 높은 처리량 과 가장 낮은 화학 물질 사용 을 보장 하기 위해 최적화 될 수 있다. LAM RESEARCH TCP 9608 SE는 스테인리스 스틸, SiC, TiN/TiC, 알루미늄 및 티타늄과 같은 에칭 응용 분야에서 탁월한 성능을 제공합니다. 유연한 아키텍처와 다양한 처리 옵션을 통해 단면 (single-side) 및 양면 (double-side) 에칭에 모두 사용할 수 있습니다. 이 에처/애셔는 또한 높은 처리량 및 저렴한 웨이퍼 제조를 위해 설계되었습니다. 통합 프로세스는 수율이 높은 고품질 제품을 일관되게 보장합니다. 이러한 기능을 통해 TCP 9608 SE 는 고품질 (Quality) 결과를 제공할 수 있는 효율적인 Etcher 를 찾는 반도체 제조업체에게 이상적인 선택이 됩니다. 고성능 기능 및 비용 효율성을 통해 다양한 웨이퍼 처리 (wafer processing) 작업을 수행할 수 있습니다.