판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600SE II #293764330

LAM RESEARCH TCP 9600SE II는 현대 반도체 제조를 위해 설계된 고정밀 자동 에치/애쉬 장비입니다. LAM RESEARCH TCP 9600 SE II는 고급 에치/애쉬 (etch/ash) 기술과 다양한 프로세스 기능을 갖추고 있으며, 사용자가 마이크로패브라이션 요구 사항에 대해 보다 뛰어난 제어 및 정확성을 제공합니다. TCP 9600SE II는 빠르고 일관된 etch 및 ash 프로세스 시간을 위해 설계되었으며 Lam의 고급 PCP (Precision Controlled Process) 기술을 갖추고 있습니다. 이 기술은 변화하는 프로세스 조건에 적응하는 기능을 통해, 반복 가능하고 일관성 있는 프로세스 결과를 보장합니다. 사용자는 드라이 에치 (dry etch), 습식 에치 (wet etch), 애쉬 (ash), 딥 에치 (deep etch) 와 같은 다양한 프로세스 레시피에서 선택하여 공구를 특정 응용 프로그램 요구에 맞게 사용자정의할 수도 있습니다. TCP 9600 SE II 의 통합 소프트웨어 시스템은 온도, 압력, 기타 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하며, 각 실행 끝에 자세한 프로세스 보고서를 제공합니다. 이러한 프로세스 보고서는 분 (minute) 공차 내에서 고객별 프로세스 매개변수의 일관성과 정확성을 보장하는 데 사용됩니다. 또한, 이 소프트웨어 제품군에는 데이터 분석 기능이 내장되어 있으며, 통계 프로세스 제어 패키지가 내장되어 있어 사용자가 결과를 모니터링하고 전체 프로세스 추적성을 유지할 수 있습니다 (영문). LAM RESEARCH TCP 9600SE II는 가변 챔버 압력 및 온도, 가변 웨이퍼 바이어스 등 고급 환경 제어 기능도 제공합니다. 정교한 가스 격리 장치를 갖춘 LAM RESEARCH TCP 9600 SE II는 모든 규제 요건을 충족하면서 깨끗하고 안전한 처리를 보장합니다. TCP 9600SE II 는 모든 프로세스에서 처리율이 높은 처리량을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 소형 설치 공간으로, 소형 건조 및 습식 어플리케이션에 적합하며, 생산성을 극대화하기 위해 최대 8 개의 웨이퍼 캐리어를 쉽게 수용 할 수 있습니다. 최고 수준의 제어 및 정확성을 위해 TCP 9600 SE II는 다양한 업계 표준 로봇 시스템과 통합 할 수 있습니다. 따라서 다양한 자동 웨이퍼 로드 (wafer loading) 및 검색 (retrieval) 기능을 통해 사용자가 지속적으로 높은 프로세스 수익률을 유지할 수 있습니다. LAM RESEARCH의 LAM RESEARCH TCP 9600SE II는 고급 반도체 제조를위한 다재다능하고 신뢰할 수있는 에치/애쉬 기계입니다. 즉, 모든 소액화 (microfabrication) 요구 사항에 대한 보다 뛰어난 제어 및 정확성을 제공하며, 제품이 최고의 표준을 충족할 수 있도록 지원합니다.