판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 #9389938

LAM RESEARCH TCP 9600은 IC 패키징/고급 장치 제조 요구에 맞춘 습식/애싱 장비입니다. 이 아트 에처 상태는 처리량, 수율, 균일성을 염두에두고 설계되었습니다. 온도 변이에 면역성이 있으며, 유체 특성이 다른 화학 시스템을 수용 할 수 있습니다. 등각 공정 챔버는 샘플 크기에 관계없이 균일 한 에치를 보장합니다. 또한, 독립 챔버 (independent chamber) 디자인은 각 웨이퍼가 챔버 전체에서 균일성을 보장하는 자체 속도로 에칭되도록 보장합니다. LAM RESEARCH TCP9600 etcher는 빠른 열 산화물, 산화물 에치 및 산화물 스트립 공정으로 인해 높은 처리량과 유연한 프로세스 통합을 제공합니다. 광범위한 제어 기능 (터보 펌프 프로세스 챔버 (turbo-pump process chamber), 사전 설정 변수 (preset variables) 및 조정 가능한 샘플 크기) 과 결합 된 효율적인 열 전달 기술을 통해 운영자는 에칭 프로세스를 특정 응용 프로그램 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 컴퓨터 제어 프로세스 관리 장치 (computer-controlled process management unit) 는 설치 및 작동 중 소요되는 시간을 줄여줍니다. 또한 TCP-9600은 고밀도 SMC에 우수한 플라즈마 균일성과 "대용량 다중 작업" 화학을 제공 할 수 있습니다. 단단한 온도 조절은 개선 된 드라이 에치 (dry-etch) 결과를 제공하여 사용자에게 더 높은 수율을 제공합니다. 에처는 더 정확하고 안정적인 청소실 프로세스를 위해 진공 및 압력 제어를 특징으로합니다. TCP 9600은 직관적인 연산자 인터페이스와 그래픽 LCD 디스플레이를 갖춘 조작자 친화적 인 기계로, 에칭 프로세스를 단순화합니다. 모듈식 설계로 설치, 통합 및 재구성이 편리하고 비용 효율적입니다. 또한, 이 장치는 ISO 5, 6 및 7 클린 룸 호환성 인증을 받았으며, 클린 룸 공간으로 가져온 거의 모든 SMT 장비와 함께 사용할 수 있습니다. 전체적으로, TCP9600은 가장 까다로운 IC 패키징 문제를 해결할 수있는 강력하고 신뢰할 수있는 에처입니다. 견고한 디자인과 고급 (advanced) 기능은 최고의 성능을 제공하므로 IC 패키지 제조업체와 고급 장치 (advanced device) 제작자를 위한 최적의 선택입니다.