판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 #9262480

LAM RESEARCH TCP 9600은 금속, III-V 화합물 및 유전체의 고급 에칭을 위해 설계된 플라즈마 에처/애셔 장비입니다. LAM RESEARCH TCP9600 (TCP9600) 은 다양한 박막 응용 프로그램에 맞춘 고급 정밀 프로세스를 제공하며, 뛰어난 반복성, 균일성 및 고품질 결과를 제공합니다. TCP-9600에는 900MHz 고출력, 2 "소스 챔버, 24" x 21 "RF 바이어스 플래튼 및 사전 장착 레시피가있는 컴퓨터 인터페이스가 포함됩니다. TCP9600은 매우 얇은 층 (몇 나노미터 두께) 까지 에치 (etch) 할 수 있으며, 균일성과 반복성이 뛰어납니다. 고급 박막 에칭 요구 사항에 이상적인 솔루션을 제공합니다. TCP 9600 은 사용자의 요구에 맞게 완벽하게 사용자 정의할 수 있으며, 따라서 모든 유형의 에칭 (etching) 프로세스에 적합합니다. 또한 여러 화학 유형, 다양한 챔버 크기 및 공정 기능을 지원합니다. LAM RESEARCH TCP-9600은 놀라운 정확성과 프로세스 반복성을 제공합니다. 프로세스 조건을 지속적으로 모니터링하고 조정하여 etch 반복성과 생산량을 크게 향상시킵니다. 900 MHz 전원은 다른 시스템보다 높은 전력 밀도를 생성하는 반면, 종합적인 컴퓨터 제어 기능은 이온 에너지 (ion energy), 이온 플럭스 (ion flux), 전원 수준 (power level) 과 같은 프로세스 매개변수를 세밀하게 튜닝할 수 있습니다. 이 에처/애셔는 멀티 챔버 시스템을 통해 향상된 처리량을 제공합니다. LAM RESEARCH TCP 9600은 통합 RF 바이어스 플래튼 (bias platen) 을 통해 단일 프로세스 사이클로 더 큰 영역을 에칭하고 여러 작업의 필요성을 줄일 수 있습니다. 안전 측면에서 LAM RESEARCH TCP9600은 온도 모니터링, 안전 인터 록 (Safety Interlock) 및 기타 안전 기능으로 근로자의 안전을 보장합니다. 플라즈마 에처 (Plasma etcher )/애셔 (asher) 에는 프로세스 매개변수 기록을 보관하는 온보드 진단 장치가 장착되어 있어 운영자가 뛰어난 품질과 반복 가능성을 보장합니다. TCP-9600은 다재다능한 고성능 etcher/asher 머신으로, 최고의 정확성과 프로세스 반복성을 제공합니다. 고급 (Advanced) 프로세스 기능과 고품질 (High-Quality) 결과가 필요한 모든 애플리케이션에 적합한 솔루션입니다.