판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 #9243880
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LAM RESEARCH TCP 9600 (LAM RESEARCH TCP 9600) 은 반도체 재료를 에칭 및 재싱하여 최고 품질의 부품으로 개발 할 수있는 고급 에칭/애싱 장비입니다. 이 시스템은 고급 독점 기술을 사용하여 고해상도 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 수행하므로 장치 개발 및 프로세스 개선에 이상적입니다. 이 장치는 처리율이 높아 대용량 (Mage Volume) 운영 실행에 적합합니다. 또한, 이 기계는 플라즈마 에치 표면 처리, 산소 플라즈마 에칭 (oxygen plasma etching), 유도 결합 플라즈마 에칭 (inductively coupled plasma etching) 과 같은 광범위한 플라즈마 에칭 옵션으로 사용 가능하며, 고객이 응용을위한 최고의 에칭 기술을 선택할 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP9600 (LAM RESEARCH TCP9600) 은 유연성과 결합하여 에칭 프로세스에 대한 높은 수준의 제어를 제공합니다. 이 모델에는 빠른 스위칭 기능 (fast switching function) 이 있어 사용자가 신속하고 편리하게 한 모드에서 다른 모드로 전환할 수 있습니다. 또한 사용자는 PLC (programmable logic controller) 를 사용하여 응용 프로그램에 필요한 프로세스 매개 변수를 쉽게 유지할 수 있습니다. TCP-9600 (TCP-9600) 에는 효율적인 처리를 갖춘 고급 냉각수 머신 (cooling water machine) 이 있어 에칭 및 애싱 작업 중 온도를 유지하는 데 도움이됩니다. 또한, 이 도구에는 부품이 완전히 분리되도록 EPM (Integrated End-Point Monitoring) 기능이 있습니다. 또한 사용자 인터페이스는 매우 직관적이고 사용자 친화적이며, 간편하지만 효율적인 운영을 가능하게 합니다. 또한, 소프트웨어 개발 팁, 명령 및 지침이 포함된 광범위한 GUI (Graphical User Interface) 가 자산에 포함되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 프로세스를 모니터링하고 실시간 상태 정보를 조회하여 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스의 정확성을 보장할 수 있습니다. TCP9600은 뛰어난 성능과 품질을 제공하도록 설계되었습니다. 그것은 뛰어난 식각 균일성과 짝수를 가진 특히 빠른 플라즈마 잠재력을 가지고 있습니다. 또한, 이 공정은 결함률이 낮고, 단계 범위가 매우 높기 때문에 대용량 반도체 소자 제조 또는 나노 미터 스케일 제작 (nanometer scale fabrication) 과 같은 응용 분야에 적합합니다. 이 모델은 여러 옵션과 함께 사용할 수 있으며, 전원, 속도, 펄스 폭 측면에서 사용자 정의할 수 있습니다. 예를 들어, TCP 9600에는 원격 액세스 및 데이터 로깅을 위한 무선 LAN (옵션) 이 장착될 수 있습니다. 또한, 이 장비는 강력하고 신뢰할 수있는 PLC (programmable logic controller) 를 통합하여 프로세스 제어 및 다용도를 최적화하기 위해 광범위한 운영 매개변수를 쉽게 생성 할 수 있습니다.
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