판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 #9226996

LAM RESEARCH TCP 9600은 다양한 재료의 정밀 에칭 및 재시를 위해 설계된 고급 에칭/애싱 장비입니다. 강력한 설계를 갖춘 LAM RESEARCH TCP9600 (TCP9600) 은 저전력 작동이 가능한 최적화된 플랫폼과 처리량을 극대화하고 유지 관리 비용을 최소화하는 재순환된 가스 경로를 갖추고 있습니다. TCP-9600은 13.2 x 13.2 인치의 챔버 크기로 사이클당 최대 6 개의 웨이퍼를 처리 할 수있는 최적화 된 고압 프로세스 환경을 제공합니다. 또한 최적의 고온, 저온 또는 주변 온도 프로세스를위한 3 모드 공정 챔버가 있습니다. 이 시스템은 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스 및 과열 안전 (over-temperature safety) 스위치를 통해 사용자에게 친숙한 운영을 보장합니다. 자동화된 프로세스 장치에는 고성능 터보 펌프 (Turbo Pump), 샘플 전송 기계 및 흐름 컨트롤러/믹서 (Flow Controller/Mixer) 와 같은 여러 전용 구성 요소가 함께 제공됩니다. 고성능 터보 펌프 (Turbo Pump) 는 워밍업, 공정 및 통풍구 단계에서 높은 챔버 대피 속도를 제공합니다. 샘플 전송 도구를 사용하면 etch/ash 챔버 내부의 웨이퍼 자동 위치를 지정할 수 있습니다. 흐름 컨트롤러/믹서 (flow controller/mixer) 는 프로그램 된 간격으로 프로세스 가스의 가스와 비율의 조합을 정확하게 제어합니다. TCP 9600에는 밸브, 유량 미터 (flow meter) 및 가스 조절기 (gas regulator) 가 포함 된 외부 가스 박스 (gas box) 가 있으며, 각 응용 분야에 적합한 특정 매개 변수로 프로세스 가스를 쉽게 추가 할 수 있습니다. 터보 분자 펌핑 자산은 높은 진공 공정의 중단없는 작동을 보장합니다. LAM RESEARCH TCP-9600에는 고급 소프트웨어 제품군도 포함되어 있으며, 여기에는 고급 데이터 획득, 데이터 분석 및 프로세스 제어가 포함됩니다. 이 정교한 소프트웨어를 사용하면 최적의 에치/애쉬 (etch/ash) 결과를 위해 온도, 압력, 유량 등의 매개변수를 빠르고 정확하게 모니터링하고 조정할 수 있습니다. TCP9600 (TCP9600) 은 반도체, 안경 및 기타 재료의 정밀 에칭 및 재싱을 위해 설계된 고급 에칭 및 애싱 모델입니다. 견고한 설계, 최적화 된 플랫폼, 손쉬운 운영 및 고급 소프트웨어 제품군을 통해, 이 장비는 정확한 에칭/애싱 (etching/ashing) 결과를 얻을 수 있는 최고의 솔루션입니다.