판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 #9225269
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ID: 9225269
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1998
Metal etcher, 8"
Includes:
Main body
Chiller
AC Rack
Rack
(2) Covers
(4) Dry pumps
(2) Cables
1995 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600은 반도체 산업을위한 고급 장치의 대량 제조를 위해 설계된 정밀 Asher입니다. 이 장비는 다양한 프로세스 기능을 갖춘 모듈식, 밀접하게 통합된 플랫폼입니다. 서로 다른 모듈의 긴밀한 통합으로 유지보수 (Maintenance) 및 운영 복잡성을 최소화하는 강력한 프로세스가 탄생합니다. LAM RESEARCH TCP9600은 광학 정렬 기술을 사용하여 알루미늄, 오목한 산화물 및 민감한 피쳐 형상을 정확하게 에칭합니다. 이 시스템은 습식 (wet) 및 건식 (dry) 에칭 기능을 모두 갖추고 있으며, 직경이 최대 200mm인 다양한 웨이퍼를 경제적으로 처리 할 수 있습니다. TCP-9600은 파동 및 전자 여분의 2 개의 빔 소스를 사용하여, 원하는 에치 프로세스 한계 속도를 시간당 +/- 0.1 미크론 내로 정확하게 유지할 수 있습니다. TCP9600 은 최대 60 개의 기판을 동시에 처리하여 유연하고 맞춤형으로 처리할 수 있습니다. 고급 유닛 아키텍처인 인텔리펙스 (Intellifex) 를 활용하여 에치 레이트와 엔드포인트 정확도를 자동으로 최적화하여 생산성을 향상시킵니다. 또한 전체 프로세스 전체에서 프로세스 안정성을 모니터링하는 닫힌 루프 도구인 토탈 프로세스 제어 (Total Process Control) 를 제공합니다. 이는 향상된 수율, 향상된 처리량 및 일관된 고품질 결과의 이점을 제공합니다. LAM RESEARCH TCP-9600은 높은 에치 속도 (etch rate) 기능과 정확성 외에도 다양한 고급 기술을 제공합니다. 멀티 레이어 에칭을 수행하고 고급 필름 두께 제어 (advanced film thickness control) 및 진공 청소 에셋 (vacuum cleaning asset) 과 같은 파편 완화 기술을 배포합니다. 이 모델에는 가스 안전 장비 (Gas Safety Equipment) 및 용접 모니터링 시스템 (Weld Monitoring System) 과 같은 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. TCP 9600은 전체적으로 반도체 제조 산업을 위한 효율적이고, 정밀하며, 정밀한 에칭 솔루션을 제공합니다. 이 장치의 고급 기능과 안전 시스템 (Safety System) 은 복잡한 기판의 대용량 처리에 이상적입니다.
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