판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 #9197759

LAM RESEARCH TCP 9600은 광범위한 재료보다 우수한 에치 품질을 제공하도록 설계된 완전 자동화 된 고속 플라즈마 에처 (etcher) 입니다. 이 장비는 단면 및 양면 에칭을 모두 지원하며, 탁월한 균일성을 가진 최대 4 미크론의 플라즈마 에치 깊이를 달성하는 데 사용될 수 있습니다. 이 기계는 전력 수준을 선택할 수있는 2 개의 주파수 민첩한 RF 소스를 사용하여 우수한 프로세스 제어를 보장합니다. LAM RESEARCH TCP9600 (TCP9600) 은 성능을 최적화하기 위해 다양한 압력 수준에서 일관된 가스 흐름을 보장하는 혁신적인 가스 전달 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치는 또한 가스 흐름, 압력, 챔버 온도 및 RF 전력에 대한 실시간 데이터를 제공하는 고급 모니터링 머신을 갖추고 있습니다. TCP-9600은 고급 반도체 제조를위한 LAM RESEARCH Endura ™ 프로세스 장비 제품군의 중요한 구성 요소입니다. 이 정교한 생산 장비 제품군에는 뛰어난 품질의 마이크로 일렉트로닉스를 만들기 위해 빔 라인 시스템 (etch/deposition, ion implantation 및 laser anneal) 이 포함됩니다. 성능 모니터링 및 프로세스 제어가 통합된 LAM RESEARCH TCP-9600은 재생성 가능한 초음파 에치 프로세스를 보장합니다. TCP9600은 빠른 속도로 뛰어난 품질과 정확성을 제공하도록 설계되었습니다. 표준 레시피 라이브러리에는 etch 속도, 챔버 압력, RF 전원 수준, 가스 흐름, 온도 설정 등 다양한 프로세스 매개변수가 포함됩니다. 직관적인 GUI는 프로그래밍을 단순화하고 실시간 프로세스 모니터링을 제공합니다. 이 챔버 (Chamber) 는 최적의 에칭을 위해 균일 한 저압 환경을 제공하도록 설계되었으며, 인체 공학 디자인은 유지 보수가 쉽고 직관적이라는 것을 의미합니다. TCP 9600은 우수한 품질의 마이크로 일렉트로닉 장치 (microelectronic device) 를 가져와야 하는 제조업체에 적합한 선택입니다. 이 도구의 강력한 기능, 안정성, 정밀도를 결합하여 효율적이고 최적화된 성능을 보장합니다. LAM RESEARCH TCP 9600은 탁월한 에치 (etch) 결과를 제공하는 최상의 품질의 제품입니다.