판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 #9177752

LAM RESEARCH TCP 9600은 정밀 패턴화 및 표면 처리 기능을 제공하도록 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. LAM RESEARCH TCP9600 (LAM RESEARCH TCP9600) 은 최대 300mm 직경의 웨이퍼를 처리하도록 설계되었지만, 더 작은 웨이퍼 크기는 보조 어댑터를 통해 처리 할 수 있습니다. TCP-9600은 일련의 고정밀 및 고속 공정 모듈을 사용하여 습식 에칭, 드라이 에칭, 스퍼터 에칭 등을 포함한 에치/애쉬 (etch/ash) 공정을 수행할 수 있습니다. 통합된 챔버 설계를 통해 TCP 9600은 기존의 배치 처리 기술에 비해 향상된 스루핑 (through-put) 및 주기 단축 시간을 제공하도록 설계되었습니다. TCP9600 은 운영 제어를 위한 PLC 시스템과 실시간 모니터링, 원격 네트워크 액세스 등 다양한 프로세스 제어 옵션을 갖추고 있습니다. 또한, 이 장치에는 프로세스 매개 변수 제어를 자동화하는 소프트웨어 프로세스 레시피 제품군이 있습니다. LAM RESEARCH TCP-9600에는 모든 처리 사이트에서 최적의 프로세스 성능을 유지하기 위한 균일성 제어 및 자동 보충 기능도 포함되어 있습니다. 다양한 옵션 챔버로 구성된 LAM RESEARCH TCP 9600은 애싱 (ashing), 평면 화 (planarization) 및 트렌치 (trenching) 를 포함한 정밀 프로세스를 위해 구성 될 수 있습니다. 이 기계는 오프 축 웨이퍼 검색, 수동 웨이퍼 로딩 시스템, 접촉없는 웨이퍼 처리, in-situ SEM 종점 제어 등 다양한 wafer 소개 및 추출 방법을 사용합니다. 이를 통해 LAM RESEARCH TCP9600은 복잡한 챔버 구성의 전체 분야에서 균일 한 성능을 제공 할 수 있습니다. TCP-9600은 또한 2 차원 이미징 및 레이저 범위 찾기 기능으로 정밀 위치 감지를 제공합니다. 이를 통해 프로세스 챔버의 정확한 이미징과 향상된 공구 가동 시간이 가능합니다. 또한, 에셋에는 정밀 에칭 (precision etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스의 프로세스 매개 변수를 자동화하는 데 도움이 되는 일련의 프로세스 레시피가 장착되어 있습니다. TCP 9600은 밀폐된 웨이퍼 환경으로 인해 높은 수준의 안전성과 안정성을 제공합니다. 이 모델은 운영 배출량을 줄이고, 적용 가능한 안전 표준을 충족시키는 한편, 깨끗하고 건조한 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비는 일체형 PC/서버로 구동되며, 이는 수명 주기 신뢰성에 대한 신뢰성과 성능을 제공합니다. 결론적으로, TCP9600은 정밀 패턴화 및 표면 처리 기능을 제공하도록 설계된 고급 etcher/asher 시스템입니다. LAM RESEARCH TCP-9600은 매우 정밀한 프로세스 모듈 (host of high precision process module) 을 사용하여 습식 및 건식 에칭, 스퍼터 에칭 등을 포함한 에칭/애싱 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 다양한 옵션 챔버로 구성된 LAM RESEARCH TCP 9600은 최적의 프로세스 성능을 위해 균일성 제어 및 자동 보충을 제공합니다. 이 장치는 또한 밀폐된 웨이퍼 환경, 정밀 위치 감지 (precision position detection) 및 자동화를 위한 프로세스 레시피 모음으로 인해 높은 수준의 안전성과 안정성을 제공합니다.