판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 #9176483

LAM RESEARCH TCP 9600은 나노 미터 스케일 범위의 정밀 재료 처리를 위해 설계된 중형 배치 처리 플라즈마 에처입니다. 비 금속 물질을 포함한 다양한 재료에 대한 디지털 이미지 처리, 다중 레벨 프로세스 제어 및 재료 경화를 제공하는 15 챔버 시스템입니다. LAM RESEARCH TCP9600은 desmearing, deposition, annealing 및 etching을 포함한 다양한 기질 표면 처리에 사용될 수 있습니다. 허용되는 재료는 금속, 반도체 및 유리에서 폴리머, 도자기 및 특수 코팅에 이르기까지 다양합니다. 질소, 아르곤, pCF4 및 조합 할 수있는 조각 가스에 대한 옵션이있는 15 개의 공정 챔버로 제작되었습니다. 또한 견고한 재료 처리 시스템 (자동 샘플 전송) 과 입자 여과 시스템 (particle filtration system) 이 포함되어 있어 높은 반복성 애플리케이션에 이상적입니다. 기본 사용자 인터페이스는 PC 워크스테이션이며, 전체 프로세스와 재료 제어를 제공합니다. 모든 프로세스의 레이블을 지정하여, 사용자는 특정 재료와 애플리케이션에 대한 시스템 (machine) 을 빠르고 쉽게 구성할 수 있습니다. TCP-9600은 유전체 에칭, descum, anneal, deposition 및 photodefinition을 포함한 다양한 프로세스 옵션을 제공합니다. 또한 조정 가능한 펄스 시간, 거주지 및 경화 프로세스와 함께 맞춤형 맞춤형 변형을 제공합니다. LAM RESEARCH TCP-9600 Etcher는 정확한 나노 미터 규모의 재료 처리를 위해 강력한 선택입니다. 모든 공정 챔버 (process chamber) 및 수송 지점은 가스, 전력, 안전을 보존하고 오염 위험을 최소화하도록 최적화되어 환경 안전을 염두에두고 설계되었습니다. TCP9600은 재료 처리에 간단하고 정확한 접근 방식을 제공합니다. 펄스 시간, 주거지 및 기타 프로세스 변수를 정확하게 제어하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 강력한 재료 처리, 클린 룸 등급 안전 및 반복 가능한 정확도를 갖춘 TCP 9600은 정확한 나노 미터 규모의 재료 처리에 적합한 옵션입니다.