판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 #9043962

LAM RESEARCH TCP 9600은 뛰어난 균일성과 반복성으로 휘발성, 정밀 에칭 및 애싱 프로세스를 수행하도록 설계된 etcher/asher입니다. 이 장비는 최신 고급 챔버 (chamber) 기술, 프로세스 제어 및 지원 시스템 (process control and support system) 을 활용하여 다양한 어플리케이션에 가장 안정적인 운영 및 뛰어난 품질의 결과를 제공합니다. 챔버 (chamber) 크기는 작아서 공간 활용도가 높지만 16 입방 인치 (cubic inch) 의 챔버 볼륨을 처리 할 수 있습니다. 이 시스템은 컴퓨터 제어 하드웨어를 사용하여 매개변수를 간단하게 설정하고 모니터링할 수 있습니다. 변형을 최소화하고 전송 마크 (transfer mark) 를 최소화하도록 설계되어 최고의 에치 (etch) 와 애싱 (ashing) 결과를 얻을 수 있습니다. 이 연산자는 기본 제공 소프트웨어 프로그램을 사용하여 매개변수를 설정하고, 프로그램을 만들 수 있으며, 장치 (장치) 는 사전 설정을 처리할 수 있으며, 배치 처리를 위해 최대 50 개의 웨이퍼를 저장할 수 있습니다. 또한이 기계는 마이크로프로세서 기반 PID 제어를 통해 정확성과 반복 성을 향상시킵니다. 이를 통해 사용자는 챔버 전체에 균일 한 가스 흐름 (gas flow) 을 생성하고 보유할 수 있으며, 이를 통해 지속적으로 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP9600 (LAM RESEARCH TCP9600) 은 또한 공구 압력의 설정, 모니터링, 추적 및 프로그래밍 가능한 온도 컨트롤러로, 에칭 및 애싱 프로세스에 대한 최적의 환경을 모니터링 및 설정하는 데 사용할 수 있습니다. 이 자산은 '공정 손실 (process-in-place)' 기능도 갖추고 있어 여러 개의 챔버가 아닌 모든 프로세스에 단일 챔버만 사용하는 것이 쉽고 경제적입니다. 또한 전체 웨이퍼 (full wafer) 또는 프로세스 창 (process window) 사용률에서 유연성이 향상되고 동일한 챔버에서 여러 레이어를 처리할 수 있습니다. 또한, 이 모델에는 화재 증명 도어 (Fire Proof Door) 및 챔버 (Chamber), 경고 타이밍, 프로세스 무시 및 호출 실패 감지 등 사용자 안전을 보장하는 고급 안전 패키지가 제공됩니다. TCP-9600은 안정적이고 고품질의 etcher/asher 솔루션으로, 정확성과 반복성, 간편한 자동화, 뛰어난 안전 측정 기능을 제공합니다.