판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 #293825708

LAM RESEARCH TCP 9600은 반도체 웨이퍼의 처리 및 패턴화에 사용되는 에치/애쉬 장비입니다. 이 시스템은 원격 제어 전자 빔 (remote-controlled electronic beam) 을 사용하여 기판 표면에서 원하는 구조를 정확하게 패턴화하고 처리합니다. 빔은 단일 전자 총 (single-electron gun) 에 의해 생성되며, 장치 내부의 진공 챔버에 장착됩니다. 전자 빔은 2 개의 전자기 코일에 의해 집중되고 편향된다; 정전기 렌즈와 정전기 편향기. 전자 빔은 기판 표면을 가로 질러 스캔되어 미리 정의 된 패턴에 따라 선택적으로 에치, 재 또는 퇴적물질을가집니다. LAM RESEARCH TCP9600 도구는 반도체 프로세싱의 특정 요구를 충족하도록 설계된 다양한 기능을 제공합니다. 이러한 기능에는 균질한 가스 흐름 및 가속 자산, 다양한 가스 공급 장치, 독특하게 설계된 플라즈마 소스 챔버 (Plasma Source Chamber) 및 빔의 정밀 정렬, 스캔 및 제어를 위한 고급 컨트롤러 (Advanced Controller) 가 포함됩니다. 또한 TCP-9600 모델은 직관적인 그래픽 디스플레이와 함께 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스를 제공하여 각 프로세스 단계 전에 스캔 속도 (scan speed), 에너지 (energy) 등의 매개변수를 수정하고 최적화할 수 있습니다. 또한, 사용자는 각 프로세스 단계를 실시간으로 모니터링할 수 있는 다양한 진단 도구 (실시간 이미지 처리) 를 제공합니다. 마지막으로, LAM RESEARCH TCP-9600 etch/ash 시스템은 처리 속도가 빠르므로 처리량이 높고 디바이스 수율이 향상됩니다. 이 장치는 또한 변화하는 반도체 어플리케이션을 수용하기 위해 빠르게 적응할 수있는 유연한 아키텍처 (Flexible Architecture) 로 설계되었습니다. 이는 장기, 대용량 반도체 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 통해서도 시스템 성능과 안정성을 유지합니다.