판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 #293824138

LAM RESEARCH TCP 9600은 기판에서 부드러운 재료를 정확하고 정확하게 제거하도록 설계된 자동 플라즈마 에처/애셔입니다. LAM RESEARCH TCP9600 (LAM RESEARCH TCP9600) 은 응용프로그램을 위한 탁월한 생산성과 성능을 제공하기 위한 고급 기능으로, 처리량을 높이고 주기 시간을 줄여줍니다. TCP-9600 etcher/asher는 DMI (Dual Microwave Interface) 를 사용하여 모든 기판에서 보다 일관되고 완전한 에치를 제공합니다. 이 기술은 에치 레이트 (etch rate) 가 거의 또는 전혀 변하지 않고 기판의 거의 모든 범위를 제공합니다. 이중 마이크로파 인터페이스는 또한 정밀한 온도 조절을 가능하게 하며, 이를 통해 일관된 에치 (etch) 성능을 얻을 수 있습니다. TCP 9600에는 대용량 플라즈마 에치 챔버 (plasma etch chamber) 와 독점적 인 프로그래밍 가능한 가스 분배 장비를 갖춘 고급 에치 공구가 있습니다. 가스 분배 시스템 (Gas Distribution System) 은 챔버 전체에서 에칭 환경을 정확하게 튜닝하여 사용자가 에칭 프로세스를 최적으로 제어할 수 있도록 합니다. 그 결과, 에치 레이트의 표준 편차가 낮은 균일 한 에치 프로세스 (etch process) 가 발생합니다. TCP9600 (TCP9600) 은 또한 플라즈마 필드 쉐이핑 (plasma field shaping) 기술을 사용하여 기판에 표면 손상을 제한하여 더 깨끗하고 균일 한 표면 준비 프로세스를 제공합니다. RF 안테나 (RF antennas) 를 사용하면 다양한 플라즈마 필드 모양이 가능하므로 에칭을 보다 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 LAM RESEARCH TCP-9600에는 사용자 안전 및 규정 준수를 보장하는 다양한 안전 시스템이 포함되어 있습니다. 여기에는 에치 위험 (etch hazard) 을 최소화하는 온보드 냉각수 장치, 미립자로부터의 추가 보호 기능을 제공하는 습도 데크, 자동 압력 및 온도 모니터링 기계 등이 포함됩니다. LAM RESEARCH TCP 9600 (LAM RESEARCH TCP 9600) 은 처리량 및 주기 시간이 단축된 고밀도 에칭 성능을 제공하도록 설계된 완전 자동 etcher/asher입니다. 여러 가지 기능 을 제공 하여, 여러 가지 기판 들 을 안전 하고 정확 하게 처리 할 수 있으며, 그 결과, 표면 을 균일 하고 깨끗 하게 준비 할 수 있다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 다양한 에칭 응용 프로그램에 적합하며 반도체 산업의 가장 엄격한 표준을 충족하도록 설계되었습니다.