판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 #293809935

LAM RESEARCH TCP 9600은 정밀하고 높은 처리량으로 웨이퍼를 정확하게 처리하도록 설계된 강력한 etcher/asher 장비입니다. 견고하고 정밀한 닫힌 루프 에치 (closed-loop etch) 시스템을 갖추고 있으며, 정밀한 온도 조절과 정확한 주기 시간으로 완전 자동화 된 생산을 처리 할 수 있습니다. 이 장치에는 각 반도체 장치 제작 프로세스에 맞게 조정할 수있는 완전 프로그래밍 가능한 온보드 Source/Drain Implant 소스가 있습니다. 이 기계는 광범위한 재료 및 응용 프로그램으로 고속 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 처리할 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP9600 (LAM RESEARCH TCP9600) 은 모듈식, 고정밀 에칭 및 애싱 툴로 응용 프로그램에 따라 다양한 에치 및 애쉬 조작이 가능합니다. 전용 에치 및 애쉬 챔버 (ash chamber) 가있는 단일 챔버 디자인으로 최대 500 ° C의 온도 범위를 제공합니다. 에셋은 또한 무거운 듀티 정밀 모터 (heavy-duty precision motor) 를 장착하여 에치 레이트를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 애싱 속도 (ashing rate), 흐름 속도 (flow rate) 및 압력 (pressure) 을 정확하게 제어하기위한 여러 가지 고급 프로그래밍 가능한 기능이 포함되어 있습니다. TCP-9600은 또한 고속 및 처리량을 제공하여 최대 200mm/min etch rate 및 최대 400mm/min ash rate를 제공합니다. 이 모델은 각각 3 단계 깊이와 7 단계 에칭으로 최대 8 개의 프로세스를 수용하도록 설계되었습니다. 또한 자동 경계 탐지 (Automatic Border Detection), 측면 벽 프로파일링 (Sidewall Profiling) 및 오버 컷 보호 (Overcut Protection) 와 같은 기능이있는 포괄적 인 패턴 적용 범위가 TCP 9600은 신뢰할 수 있는 장비로, 운영 중 최대 가동 시간을 보장하도록 설계되었습니다. 이 제품은 활동과 이벤트를 기록하는 고급 프로세스 추적 시스템 (Advanced Process Tracking System) 을 갖추고 있으며, 장치 성능을 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 유지 보수를 용이하게하기 위해 TCP9600에는 에치 챔버 (etch chamber), 안전 밸브 (safety valve) 및 모터 (motor) 에 대한 정기 테스트를 수행하는 자체 모니터링 기계도 장착되어 있습니다. LAM RESEARCH TCP-9600 (LAM RESEARCH TCP-9600) 은 견고하고 신뢰할 수 있는 에치 앤 애싱 툴로서 정확한 재료 처리와 높은 처리량을 제공합니다. 현대 반도체 소자제작공정 (반도체) 을 위한 고도로 적응가능한 솔루션이다. 정밀한 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 위한 첨단 기능으로 다양한 산업용 애플리케이션에 이상적인 솔루션이다.