판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 #293762298
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 293762298
웨이퍼 크기: 8"
Metal etcher, 8"
(3) RFG 1251 Generators
ADIXEN / ALCATEL 1300 Turbo pump
ADIXEN Turbo controller
VAT 65 Gate valve
VAT PM-7 Controller
ESC Clamping
Dual endpoints: 703 nm and 520 nm
Bulk head mounting
Hine indexer
Closed loop
RF Match: Upper TCP, lower mini match, DSQ Match
DSQ Hinged
WVDS Auto fill
STEC 7440 MFCs
APM: Standard
Gases:
Gases / SCCM
CL2 / 200
BCL3 / 100
SF6 / 100
N2 / 50
N2 / 1000
AR / 100
O2 / 1000
CF4 / 200
H2O / 500.
LAM TCP 9600은 고 처리량 반도체 제조에서 정밀 에칭/애싱을 위해 설계된 산업 에처/애셔입니다. 직관적인 사용자 인터페이스를 활용하여 동급 최고의 제어, 정확성 및 재현성을 제공합니다. 이 장비에는 정확한 에칭 및 애싱 (ashing) 실행을 보장하는 최첨단 광학 정렬 시스템이 장착되어 있습니다. 이 장치에는 고해상도 고속 디지털 이미지 (Digital Imager) 가 장착되어 있어 최고 품질의 이미지를 캡처할 수 있습니다. 또한 고급 옵틱 (optic) 과 소프트웨어 (software) 를 통해 추가 하드웨어 또는 액세서리 없이 에칭/애싱 기판을 쉽고 정확하게 배치 할 수 있습니다. 이 기계에는 LAM 독점 TCP 9600 컨트롤러도 장착되어 있습니다. 이 컨트롤러에는 32 비트 ARM-Core 내부 프로세서와 다양한 장치 (예: PID 컨트롤러, 온도 센서 및 모터) 를 상호 작용하기 위한 풍부한 디지털/아날로그 신호 입력 및 출력 세트가 포함되어 있습니다. 이 툴에는 자산 설정 (Asset Setting), 작업 모니터링 (Monitor Activity) 및 실시간 변경 (Change in Real Time) 을 사용자 정의할 수 있는 포괄적인 소프트웨어 애플리케이션이 포함되어 있습니다. 컨트롤러는 TCP/IP, 이더넷, USB 및 RS232 프로토콜을 포함한 LAM 고급 통신 프로토콜을 최대한 활용할 수 있습니다. 이를 통해 모델을 다른 컴퓨터 및 장치와 쉽게 네트워크 연결할 수 있습니다. 이러한 통신 프로토콜 (Communications Protocol) 을 통해 장비는 다양한 제어 시스템에 연결할 수 있으며, 사용자는 다양한 방법으로 사용 상황을 사용자 정의하고 시스템을 구성할 수 있는 유연성 (Flexibility) 을 제공합니다. 이 장치는 금속, 합금, 폴리머, 반도체 및 자기 물질을 포함한 다양한 물질의 빠르고 효율적인 에칭/애싱을 위해 설계되었습니다. 이 기계는 에칭 프로세스를 정확하게 제어하기 위해 최대 110 ° C (230 ° F) 의 광범위한 온도를 지원할 수 있습니다. 이 툴은 또한 여러 가지 안전 (Safety) 기능을 통해 사용자를 위험 요소로부터 보호합니다. LAM TCP 9600은 검증된 신뢰성 외에도 뛰어난 성능과 정확성을 제공합니다. 에셋은 0.1/m까지 정확도와 0.00001 ~ 100/min의 에치 레이트 범위를 제공합니다. 이 모델은 또한 깊이 (depth) 와 각도 (angle) 에 대한 정확한 제어 및 탁월한 선택성을 제공하여 사용자가 뛰어난 에칭 결과를 얻을 수 있도록 합니다. TCP 9600은 신뢰성 있고 정확한 에칭 및 애싱 기능을 제공하는 혁신적인 최첨단 산업 에처/애셔입니다. 이 제품은 고출력 반도체 제작에 이상적인 솔루션으로, 모든 유형의 애플리케이션에 뛰어난 제어, 정확성, 재현성을 제공합니다.
아직 리뷰가 없습니다